[实用新型]一种K型单刀四掷射频MEMS开关

权利要求书

1.一种K型单刀四掷射频开关，其特征在于，所述K型单刀四掷射频开关包括：

至少一个提供支撑基础的衬底；

至少一组设置在衬底表面的微波传输组件；

所述微波传输组件包括用于传输信号的信号线单元、设置在信号线单元周侧的地线单元、设置在所述信号线单元下方的驱动电极；

所述信号线单元包括输入信号线、输出信号线、K型信号线，所述K型信号线为一个圆盘体，在所述圆盘体的外周侧等角度延伸出至少五个条形端口，所述条形端口包括用于输入信号线连接的信号线输入端口、相邻于信号输入端口两侧的近端口、及相对于信号输入端口的远端口；

所述信号线输入端口、近端口、及远端口等角度设置在圆盘体外周侧，构成放射状的K型结构，所述信号输入端口与输入信号线相对设置，所述近端口、远端口分别与输出信号线相对设置。

2.根据权利要求1所述一种K型单刀四掷射频开关，其特征在于，所述输出信号线对应K型信号线界定为近端口输出信号线、远端口输出信号线；

所述近端口输出信号线、远端口输出信号线对应所述近端口、及远端口分别设置用于触发开合的悬臂梁；

所述悬臂梁一端通过锚点固定设置所述近端口输出信号线、远端口输出信号线上，另一端悬空延伸至所述K型信号线端部的上方。

3.根据权利要求1所述一种K型单刀四掷射频开关，其特征在于，所述K型信号线为一个圆盘体，在所述圆盘体的外周侧延伸出五个条形端口，两个近端口与输入信号线呈90°夹角，远端口与两个近端口呈45°角。

4.根据权利要求3所述一种K型单刀四掷射频开关，其特征在于，所述信号线输入端口、近端口、及远端口沿K型信号线径向方向向外延伸出至少两个触点，两个所述触点相互平行设置，并始终位于所述悬臂梁下方位置。

5.根据权利要求2所述一种K型单刀四掷射频开关，其特征在于，所述悬臂梁上设置有释放孔阵列。

6.根据权利要求2所述一种K型单刀四掷射频开关，其特征在于，所述衬底对应所述悬臂梁的悬空位置固定设置有驱动电极。

7.根据权利要求6所述一种K型单刀四掷射频开关，其特征在于，所述驱动电极面向悬臂梁的一面设置一层氮化硅介质层。

8.根据权利要求2所述一种K型单刀四掷射频开关，其特征在于，所述地线单元包括第一地线、第二地线、第三地线；

两个所述第一地线分别设置在所述输入信号线与两个近端口输出线的夹角处；

两个所述第二地线分别设置在一个近端口输出线与一个远端口输出线的夹角处；

所述第三信号线位于两个远端口输出线的夹角处。

9.根据权利要求5所述一种K型单刀四掷射频开关，其特征在于，所述释放孔阵列包括若干个呈阵列状布置的释放孔，所述释放孔阵列由排数为3-5，列数为6-10的释放孔构成；

所述释放孔直径大小为8-10μm，任意两个相邻释放孔之间距离为15-25μm。