[实用新型]一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置有效

专利信息
申请号: 201920661440.X 申请日: 2019-05-09
公开(公告)号: CN209843736U 公开(公告)日: 2019-12-24
发明(设计)人: 张震华 申请(专利权)人: 绍兴拓邦电子科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/306;C23F1/08;C23F1/24
代理公司: 43210 长沙新裕知识产权代理有限公司 代理人: 赵登高
地址: 312353 浙江省绍兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 限位环 连通管 活塞 储液槽 触点 本实用新型 控制器 固定块 活动块 内壁 密封圈 延长使用寿命 连通管顶端 连通器原理 补液装置 触点接触 光伏硅片 活塞外壁 嵌入安装 上端内壁 酸性液体 外壁安装 下端内壁 液位上升 电源线 上表面 酸刻蚀 下表面 湿洗 添加剂 腐蚀
【说明书】:

实用新型公开了一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置,包括储液槽、连通管、控制器、第一限位环、第二限位环和电源线,所述储液槽一侧内壁设置有连通管,所述连通管下端内壁设置有第一限位环,所述第一限位环上方设置有活塞,所述活塞外壁嵌入安装有密封圈,所述连通管上端内壁设置有第二限位环,所述第二限位环上方设置有活动块,所述活动块上表面安装有第二触点,所述连通管顶端内壁安装有固定块,所述固定块下表面固定有第一触点,所述储液槽一侧外壁安装有控制器。本实用新型通过设置液位上升时,利用连通器原理将空气带动活塞上升,避免酸性液体与活塞和第一触点、第二触点接触,减少出现腐蚀,延长使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及光伏酸刻蚀设备技术领域,具体为一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置。

背景技术

在光伏硅片生产过程中,通常使用酸性蚀刻法将硅片表面刻出绒面,从而增加光程,减少光的反射,在实际生产过程中酸性液体会随着生产的进行而减少,则需要进行添加,在储液槽中酸性液体的液面高度不容易进行控制,工作人员直接添加会导致液面漫过储液槽的问题,并且传统的液位传感器不适用于酸性环境下,容易造成腐蚀,从而缩减了使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置,具备减少酸性液体对液位传感装置腐蚀的优点,解决了液位传感设备容易腐蚀的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置,包括储液槽、连通管、控制器、第一限位环、第二限位环和电源线,所述储液槽一侧内壁设置有连通管,所述连通管下端内壁设置有第一限位环,所述第一限位环上方设置有活塞,所述活塞外壁嵌入安装有密封圈,所述连通管上端内壁设置有第二限位环,所述第二限位环上方设置有活动块,所述活动块上表面安装有第二触点,所述连通管顶端内壁安装有固定块,所述固定块下表面固定有第一触点,所述储液槽一侧外壁安装有控制器。

优选的,所述储液槽背离控制器一侧外壁上端插接有进液管,所述进液管下端位于储液槽内壁底端,且储液槽背离控制器一侧外壁底端插接有排液管,所述进液管和排液管内部分别安装有第一电磁阀和第二电磁阀,所述第一电磁阀和第二电磁阀通过电源线与控制器电连接。

优选的,所述控制器背离储液槽一侧外壁嵌入安装有显示屏和按钮,且按钮位于显示屏下方。

优选的,所述连通管上端表面安装有蜂鸣器,所述蜂鸣器与控制器电连接。

优选的,所述第一触点和第二触点通过电源线与控制器电连接。

优选的,所述连通管上端高于储液槽开口处高度,且连通管外壁通过对称分布的连接块与储液槽内壁相连接。

优选的,所述活塞上表面安装有顶块,且顶块的外壁直径小于第二限位环的内壁直径。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型通过储液槽中酸性液体液面的上升,利用连通器原理,将酸性液体在连通管内部上升,使得连通管底部的空气连同活塞上升,当活塞上升至连通管上方时,顶块与活动块下表面接触,并带动活动块上升,使第二触点和第一触点相接触,接通控制器的控制电路,蜂鸣器开始工作,提醒工组人员酸性液体添加完成,需及时关闭第一电磁阀,停止加液,此过程中酸性液体与活塞和活动块没有产生接触,从而减少了酸性液体对活塞和活动块以及第一触点、第二触点的腐蚀,有效保障了实际生产中的正常使用和使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的内部主视结构示意图;

图2为本实用新型的图1中A结构放大示意图;

图3为本实用新型的图1中B结构放大示意图;

图4为本实用新型的电性连接结构示意图。

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