[实用新型]一种可组装式气垫导轨

说明书

本实用新型涉及一种可组装式气垫导轨，包括导轨、设置在导轨上的溜板和实现气体节流的气浮垫，溜板与导轨之间通过气浮垫连接，气浮垫设置在导轨的上端面和两侧端面；气浮垫上开设有出气孔和进气孔，气浮垫开有出气孔的一面靠近导轨的外表面，气浮垫开有进气孔的一面靠近溜板。由于气浮垫实现气体节流，在其与导轨接触的一面底部形成空气薄层，使溜板与导轨之间形成不产生接触摩擦，由于无需在溜板上设置节流孔，可使得溜板尺寸减小、刚性提高，使装置整体具有更高的灵活性。

技术领域

本实用新型涉及超精密加工技术领域，尤其涉及一种可组装式气垫导轨。

背景技术

现如今，微电子学、航天技术、信息技术、激光及生物工程等科学蓬勃向上发展，对加工机器和检测仪器等的精度要求越来越高，从毫米到微米再到亚微米，对于精度等级现阶段已经发展到纳米水平，并进一步向着亚纳米水平发展，使得超精密加工及超精密检测技术诞生。

在微细加工技术领域，不管是用于精密加工的机械，还是测量仪器，都对其机械部分提出了高精度、高速度、高运动分辨率、热稳定性、低震动、爬行小、污染少甚至无污染以及降低设备成本等方面的苛刻要求。

现有的气浮导轨多是将节流孔设置在溜板上，这样给制造加工造成不便，增加了制造成本。加工出带有节流孔的溜板都是拥有固定的形状，只能适用固定形状的导轨，无法再与其他形状的导轨配合使用，降低了资源的可配置性。

实用新型内容

为解决现有的技术问题，本实用新型提供了一种可组装式气垫导轨，通过使用气浮垫组装成不同形式的导轨，以减小溜板的尺寸、提高溜板刚性，气浮垫可实现模块化设计，组装方式更加灵活，也提高资源的综合利用。

本实用新型的具体内容如下：一种可组装式气垫导轨，包括导轨、设置在导轨上的溜板和实现气体节流的气浮垫，溜板与导轨之间通过气浮垫连接，气浮垫设置在导轨的上端面和两侧端面；气浮垫上开设有出气孔和进气孔，气浮垫开有出气孔的一面靠近导轨的外表面，气浮垫开有进气孔的一面靠近溜板。

由于气浮垫实现气体节流，在其与导轨接触的一面底部形成空气薄层，使溜板与导轨之间形成不产生接触摩擦，由于无需在溜板上设置节流孔，可使得溜板尺寸减小、钢性提高，使装置整体具有更高的灵活性。另外，将气浮垫设置在导轨的上端面和两侧端面，保证溜板与导轨之间至少上部和侧部之间无摩擦，从而实现无摩擦的导轨使用效果。

进一步的，所述溜板为开放式结构。具体的，本申请的溜板的结构并不是完全闭合的，实际应用中溜板的结构可结合导轨的形状进行设置，可将溜板的结构设置为某一面具有开口的结构。

进一步的，所述气浮垫节流包括但不限于小孔节流、环面节流、多孔质节流、狭缝节流和表面节流。根据需要选择合适的气浮垫的种类。

进一步的，所述溜板内侧上表面与导轨的上表面平行设置，溜板内侧面分别与导轨的外侧表面平行。溜板由于需要在导轨上移动，因此设置溜板的内表面与导轨对应平行；实际应用中，溜板与导轨的对应面均设置为互相平行。

进一步的，所述气浮垫均匀分布在导轨外表面上，并使用塞尺调整气浮垫表面与导轨外表面之间的距离。为保证气浮垫与导轨之间的距离的一致，使用塞尺可测量调整气浮垫开有出气孔的一面与导轨外表面的间隙。

进一步的，所述气浮垫通过溜板和螺钉进行预紧，所述螺钉贯穿溜板。气浮垫通过溜板和螺钉进行预紧，使得各气浮垫与导轨的表面之间的距离相同，保证装置的稳定性。

进一步的，所述溜板的下表面与导轨的上表面之间设有四个气浮垫，溜板的侧面与导轨侧面之间各设有两个气浮垫。

进一步的，所述溜板底部为开放式结构，所述导轨形状包括但不限于T型和燕尾型。设置溜板的底部为开放式的结构，方便安装。