[实用新型]一种铝箔退火料框

说明书

本实用新型涉及退火炉技术领域，且公开了一种铝箔退火料框，包括边框、连接杆、横梁、插孔、通孔、卡槽、条形槽、插销和堆叠销，所述边框的数量为两个，所述边框为U形，所述边框的两端均开设有条形槽，所述边框的前后两侧均开设有与条形槽连通的通孔，所述连接杆的两侧均插接有横梁，所述横梁的内部开设有插孔，所述插孔和通孔位于同一水平面，所述插销穿过通孔和插孔，所述边框顶部和底部的拐角处均开设有卡槽，所述堆叠销的形状与卡槽相适配。该一种铝箔退火料框，解决了存放铝箔进行退火时有较大的空间浪费，导致铝箔的进炉量减少，退火炉的产能少，无法实现节能降耗的问题。

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体为一种铝箔退火料框。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，广泛使用于铝箔成品的表面除油及改善铝箔性能。

目前市场上现有的退火炉虽然能实现加工铝箔的功能，但是在进行使用的时候需要将铝箔放入退火存放料框，而由于存放料框中间的横梁是焊接的，固定不可移动，铝箔的尺寸又较多，从600毫米到1200毫米均有，存放时有较大的空间浪费，导致铝箔的进炉量减少，而在使用时，由于每台退火炉的内部使用空间已经固定死，只有尽可能的提高铝箔的进炉量才能使退火炉的产能最大化，达到节能降耗的目的，故而提出一种铝箔退火料框来解决上述所提出的问题。

实用新型内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种铝箔退火料框，具备进炉量大等优点，解决了由于存放料框中间的横梁是焊接固定不可移动的，存放时有较大的空间浪费，导致铝箔的进炉量减少的问题。

（二）技术方案

为实现上述进炉量大的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种铝箔退火料框，包括边框、连接杆、横梁、插孔、通孔、卡槽、条形槽、插销和堆叠销，所述边框的数量为两个，所述边框为U形，所述边框的两端均开设有条形槽，所述边框的前后两侧均开设有与条形槽连通的通孔，所述连接杆的两侧均插接有横梁，所述横梁的内部开设有插孔，所述插孔和通孔位于同一水平面，所述插销穿过通孔和插孔，所述边框顶部和底部的拐角处均开设有卡槽，所述堆叠销的形状与卡槽相适配。

优选的，所述边框和连接杆的顶部均固定安装有挡板，所述边框和连接杆的顶部均固定安装有锯齿条，所述连接杆上的锯齿条数量为两个且分别位于连接杆上的挡板的两侧，所述边框上的锯齿条的数量为三个。

优选的，所述锯齿条的形状为波纹状，所述挡板的高度大于锯齿条的高度。

优选的，所述横梁为矩形条状，所述条形槽的大小与横梁相适配。

优选的，所述插孔和通孔的直径相等，所述插销的直径与插孔的直径相适配。

优选的，所述连接杆和横梁组成一个支架，所述支架的形状为H形。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种铝箔退火料框，具备以下有益效果：

该一种铝箔退火料框，通过在边框上开设条形槽，将连接杆和横梁组成的支架插入到条形槽得到内部，调节支架和边框组成的料框的容积，通过在边框上开设通孔，在横梁上开设插孔，选好具体位置，将插销穿过通孔和插孔，将支架和边框固定，达到宽度不一的铝箔摆放的目的，最大限度的提高料框的容积率，且通过在边框上开设卡槽，在卡槽的内部插入堆叠销，使料框可以叠加，一次可以将多层料框放入到退火炉的内部，进一步增加了铝箔的进炉量，提高退火炉的产能，解决了存放铝箔进行退火时有较大的空间浪费，导致铝箔的进炉量减少，退火炉的产能少，无法实现节能降耗的问题。