[实用新型]用于制备LCOS滤波通讯芯片的固定膜压膜装置

权利要求书

1.用于制备LCOS滤波通讯芯片的固定膜压膜装置，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的上端设有两个放置槽(2)，所述工作台(1)的上端固定连接有固定架(10)，所述固定架(10)上设有升降机构与加热机构，所述工作台(1)与固定架(10)间设有与升降机构连接的安装板(5)，所述安装板(5)的两侧下端均设有条形槽(6)，所述条形槽(6)内设有往复压膜机构，两个所述条形槽(6)间设有装置腔(15)，所述装置腔(15)内设有与往复压膜机构连接的驱动机构。

2.根据权利要求1所述的用于制备LCOS滤波通讯芯片的固定膜压膜装置，其特征在于，所述升降机构包括安装在固定架(10)上端的两个液压油缸(11)，所述液压油缸(11)的伸缩端贯穿固定架(10)并与安装板(5)固定连接。

3.根据权利要求1所述的用于制备LCOS滤波通讯芯片的固定膜压膜装置，其特征在于，所述驱动机构包括安装在安装板(5)上端的驱动电机(3)，所述驱动电机(3)的输出轴末端延伸至装置腔(15)内并固定连接有第一锥齿轮(13)，所述装置腔(15)相对的内壁均转动连接有转杆(16)，所述转杆(16)的一端固定连接有与第一锥齿轮(13)相啮合的第二锥齿轮(14)。

4.根据权利要求3所述的用于制备LCOS滤波通讯芯片的固定膜压膜装置，其特征在于，所述往复压膜机构包括转动连接在条形槽(6)内的往复丝杠(9)，所述转杆(16)的另一端延伸至条形槽(6)内并与往复丝杠(9)的末端固定连接，所述往复丝杠(9)上套设有与其配合的丝杠套(8)，所述丝杠套(8)的上端与条形槽(6)的内壁滑动连接，所述丝杠套(8)的下端通过中空转轴(17)转动连接有中空压辊(7)，所述中空转轴(17)与中空压辊(7)连通。

5.根据权利要求1所述的用于制备LCOS滤波通讯芯片的固定膜压膜装置，其特征在于，所述加热机构包括安装在固定架(10)上端的热风机(12)，所述热风机(12)的输出端连接有两根出风管(4)，所述出风管(4)的末端与中空转轴(17)的一端转动连通设置。

6.根据权利要求1所述的用于制备LCOS滤波通讯芯片的固定膜压膜装置，其特征在于，所述放置槽(2)的内底部粘接有橡胶垫。