[实用新型]光学器件表面清洁装置及扫描检查系统

权利要求书

1.一种光学器件表面清洁装置，其特征在于，包括：

吹气部件(5)，所述吹气部件(5)上设有吹气口(53)，所述吹气口(53)朝向光学器件的待清洁表面(6)设置；以及

气源组件，被配置为向所述吹气部件(5)提供压缩气体，以使压缩气体通过所述吹气口(53)吹向所述待清洁表面(6)进行除污。

2.根据权利要求1所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，所述吹气部件(5)的安装方位被配置为使所述吹气口(53)导出的气流方向相对于所述待清洁表面(6)倾斜。

3.根据权利要求1所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，所述吹气部件(5)上还设有进气口(52)，所述进气口(52)上连接有进气管(55)，在所述吹气部件(5)安装的状态下，所述进气管(55)平直延伸。

4.根据权利要求1所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，所述气源组件与所述吹气部件(5)之间的气路上设有通断阀(4)，以在接通状态下开启除污，并在断开状态下停止除污。

5.根据权利要求4所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，还包括定时器件，被配置为按照预设的时间间隔使所述通断阀(4)切换至接通状态。

6.根据权利要求4所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，还包括控制部件，所述光学器件具有自检测功能，被配置为在检测到待清洁表面(6)的粘污程度超过阈值时发出提示信号，所述控制部件被配置为在接收到所述光学器件发出的提示信号时使所述通断阀(4)切换至接通状态。

7.根据权利要求4所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，还包括图像获取部件和控制部件，所述图像获取部件被配置为获取所述待清洁表面(6)的图像，所述控制部件被配置为根据获得的图像判断所述待清洁表面(6)的粘污程度，并在所述待清洁表面(6)的粘污程度超过阈值时使所述通断阀(4)切换至接通状态。

8.根据权利要求1所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，所述气源组件包括动力部件、空气压缩部件(1)和储气容器(2)，所述动力部件用于为所述空气压缩部件(1)的工作提供动力，所述空气压缩部件(1)用于产生压缩气体，所述储气容器(2)用于存储压缩气体。

9.根据权利要求8所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，还包括压力检测部件(3)，用于检测所述储气容器(2)内的压力，以便在所述储气容器(2)内的压力低于预设压力时开启所述空气压缩部件(1)。

10.根据权利要求1所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，所述吹气部件(5)包括壳体(51)，所述壳体(51)具有内腔，所述壳体(51)上设有进气口(52)和多个所述吹气口(53)，所述进气口(52)和各个所述吹气口(53)均与所述内腔连通。

11.根据权利要求10所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，各个所述吹气口(53)的总面积小于所述进气口(52)的面积。

12.根据权利要求10所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，各个所述吹气口(53)位于所述壳体(51)上的同一壁面上。

13.根据权利要求10所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，所述壳体(51)内设有平滑的导流面(54)，所述导流面(54)的形状被配置为能够减小气流从所述进气口(52)流动至所述吹气口(53)受到的阻力。

14.根据权利要求13所述的光学器件表面清洁装置，其特征在于，所述进气口(52)和所述吹气口(53)设在所述壳体(51)相邻的壁面上，所述导流面(54)与所述进气口(52)正对设置，且所述导流面(54)沿所述吹气口(53)垂直向内的方向朝向靠近所述进气口(52)所在壁面倾斜。