[实用新型]一种真空屏幕贴合对位装置

权利要求书

1.一种真空屏幕贴合对位装置，其特征在于，包括密封腔体，所述密封腔体包括上腔体和下腔体，所述上腔体和所述下腔体配合设置，且所述上腔体和所述下腔体均可上下移动；所述上腔体和所述下腔体闭合形成所述密封腔体的闭合空间；所述上腔体设置有上定位平台，所述下腔体设置有下定位平台；盖板和柔性膜分别设置在所述上定位平台和所述下定位平台上，所述下定位平台包括调节装置、连接件和放置平台，所述下腔体均设置有连接孔，所述连接件穿过所述连接孔于设置于所述密封腔体内部的所述放置平台连接，且所述连接件的另一端与设置于所述密封腔体外部的所述调节装置连接；所述上定位平台固定在所述上腔体上，所述上腔体设置有对位组件，所述对位组件用于捕捉分别设置于所述上定位平台和所述放置平台上的所述柔性膜和所述盖板的相对位置，并通过所述调节装置调节所述放置平台的位置进行所述柔性膜和所述盖板的对位。

2.如权利要求1所述的真空屏幕贴合对位装置，其特征在于，所述对位组件包括设置于所述上腔体上部的图像捕捉装置，以及设置于所述上腔体和所述上定位平台的图像捕捉通道，所述图像捕捉装置通过所述图像捕捉通道实现对所述柔性膜和所述盖板相对位置的捕捉。

3.如权利要求2所述的真空屏幕贴合对位装置，其特征在于，所述图像捕捉通道包括贯穿所述上腔体和所述上定位平台的观测孔，所述观测孔垂直所述放置平台的上端面设置，所述观测孔的两端分别设置于所述上腔体的上端面和所述上定位平台的下端面。

4.如权利要求3所述的真空屏幕贴合对位装置，其特征在于，所述观测孔的两端均设置有透光块，对应的所述透光块与所述上定位平台的下端面保持平齐，所述透光块与所述观测孔密封设置。

5.如权利要求4所述的真空屏幕贴合对位装置，其特征在于，所述放置平台上端面对应所述观测孔还设置有观测光源，所述观测光源与所述放置平台上端面平齐设置。

6.如权利要求3所述的真空屏幕贴合对位装置，其特征在于，所述上定位平台下端面和所述放置平台上端面均设置有平整一体的透光板，所述放置平台内部对应所述观测孔设置有观测光源。

7.如权利要求4所述的真空屏幕贴合对位装置，其特征在于，所述上腔体的上端面对应所述观测孔端部还设置有环形密封压板，所述密封压板压合所述透光块与所述上腔体的连接位置。

8.如权利要求2所述的真空屏幕贴合对位装置，其特征在于，所述图像捕捉通道设置为4个，分别对应所述柔性膜和所述盖板四个角的区域。

9.如权利要求2所述的真空屏幕贴合对位装置，其特征在于，所述图像捕捉装置设置多个，并和所述图像捕捉通道一一对应设置。

10.如权利要求2所述的真空屏幕贴合对位装置，其特征在于，所述图像捕捉装置设置为一个，通过移动以实现对各所述图像捕捉通道的对应设置。