[实用新型]一种装载光学镀膜夹具的器具

权利要求书

1.一种装载光学镀膜夹具的器具，其特征在于，包括用于位于蒸发源上方的伞状行星锅，所述行星锅上沿圆周方向布设有圆形的夹具通孔，所述器具上部具有环形镀膜夹具的包括架于夹具通孔上部的第一圆环及由第一圆环下部延伸内缩的深入夹具通孔内的第二圆环，所述第二圆环的下部内缩延伸有第三圆环，所述第一圆环与第二圆环连接处形成的第一阶面用于支撑器具，所述第三圆环与第二圆环连接处形成的第二阶面用于承载夹具。

2.根据权利要求1所述的一种装载光学镀膜夹具的器具，其特征在于，所述第一圆环外径为55mm内径为50mm高为2mm，所述第二圆环的高为内径为50mm，外径为52mm，高为9.5 mm的，所述第三圆环内径为48mm，外径为50mm，高为4mm，所述夹具通孔的孔径为外径为52mm。

3.根据权利要求1所述的一种装载光学镀膜夹具的器具，其特征在于，所述蒸发源与伞状行星锅之间还设置有用于改善光学镀膜行星锅均匀性的器具，所述改善光学镀膜行星锅均匀性的器具包括支撑杆，所述支撑杆上端侧部固定连接有凸杆，所述凸杆侧部固定连接有纵向设置的连接板，所述连接板顶部固定有横向挡板固定板，所述挡板固定板上固定有挡板，所述连接板是上具有与凸杆配合的轴孔，及以轴孔为圆心沿圆弧状排布的多排限位孔，所述支撑杆上还贯穿有能与限位孔配合的固定销。

4.根据权利要求3所述的一种装载光学镀膜夹具的器具，其特征在于，所述挡板固定板固定有垂直于挡板固定板的凸柱，所述挡板上具有以供凸柱置入的插孔，所述挡板上的插孔具有多个。

5.根据权利要求4所述的一种装载光学镀膜夹具的器具，其特征在于，所述挡板具有多个且沿挡板固定板的长度方向排布。

6.根据权利要求3所述的一种装载光学镀膜夹具的器具，其特征在于，所述支撑杆上具有以供固定销穿过的销孔。