[实用新型]手动贴膜装置

说明书

本实用新型涉及一种贴膜装置，尤其是一种手动贴膜装置，属于MEMS的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述手动贴膜装置，包括用于支撑衬底并能对所支撑的衬底进行加热的加热器，所述加热器位于机壳的顶部，在加热器上设有清洁保护膜，在机壳上还设置用于支撑膜的膜架，所述膜架位于位加热器的外圈，通过贴膜滚轮能将膜架上的膜贴在加热器上的衬底上。本实用新型结构紧凑，能有效避免在加热器上产生残留胶液，提高衬底受热的均匀性，确保膜与衬底的结合强度，适应方便，安全可靠。

技术领域

本实用新型涉及一种贴膜装置，尤其是一种手动贴膜装置，属于MEMS的技术领域。

背景技术

在MEMS领域，经常会用到衬底贴膜工艺，有一部分贴膜工艺需要在固定温度下进行。传统贴膜机贴膜时加热器表面会大量的胶残留，且很难清理。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种手动贴膜装置，其结构紧凑，能有效避免在加热器上产生残留胶液，提高衬底受热的均匀性，确保膜与衬底的结合强度，适应方便，安全可靠。

按照本实用新型提供的技术方案，所述手动贴膜装置，包括用于支撑衬底并能对所支撑的衬底进行加热的加热器，所述加热器位于机壳的顶部，在加热器上设有清洁保护膜，在机壳上还设置用于支撑膜的膜架，所述膜架位于位加热器的外圈，通过贴膜滚轮能将膜架上的膜贴在加热器上的衬底上。

在所述机壳的顶部设置能与加热器适配的加热器隔热板，加热器置于所述加热器隔热板内，在加热器内设置若干真空吸附孔，所述清洁保护膜为特氟龙薄膜。

在所述机壳的底部设置若干均匀分布的可调脚座，在机壳内设置用于支撑加热器隔热板的隔热板支撑柱，所述加热器隔热板采用特氟龙材料制成。

所述膜架包括对称分布的摆臂，所述摆臂的第一端通过摆臂转轴与机壳上的摆臂支撑块铰接，两根摆臂的第二端通过摆臂连接杆连接，所述摆臂的第二端还支撑在弹性顶销上，所述弹性顶销的一端与摆臂连接，弹性顶销的另一端与机壳内的导向套适配连接；

所述贴膜滚轮能置于两根摆臂上，贴膜滚轮能在摆臂上滚动，且贴膜滚轮在摆臂上由摆臂的第一端滚动至摆臂的第二端时，通过贴膜滚轮能将摆臂上的膜压贴在衬底上，且两摆臂的第二端能逐渐靠近机壳的顶部表面。

在机壳的顶部还设置能对加热器的电源线接头进行保护的加热器防护板。

在所述摆臂上设置若干能将膜的边缘固定在摆臂上的磁吸体。

在机壳上还设置温控仪、真空表以及真空开关。

所述贴膜滚轮采用不锈钢制成，贴膜滚轮安装于滚轮操作架上。

本实用新型的优点：加热器通过加热器隔热板设置在机壳的顶部，在加热器上设置清洁保护膜，清洁保护膜采用特氟龙制成，利用清洁保护膜能方便对加热器进行清洁，利用加热器内的真空吸附孔能将衬底吸附在加热器上，提高衬底与加热器的贴合度，确保衬底受热均匀，提高膜与衬底贴合的强度，使用方便，安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型的立体图。

图2为本实用新型贴膜前的示意图。

图3为本实用新型贴膜过程中的示意图。

图4为本实用新型完成贴膜后的示意图。

附图标记说明：1-摆臂连接杆、2-磁吸体、3-摆臂、4-弹性顶销、5-机壳、6-加热器隔热板、7-清洁保护膜、8-摆臂支撑块、9-摆臂转轴、10-可调脚座、11-真空开关、12-真空表、13-温控仪、14-贴膜滚轮、15-加热器防护板、16-衬底、17-膜、18-加热器、19-导向套、20-隔热板支撑柱、21-滚轮操作架以及22-真空吸附孔。

具体实施方式