[实用新型]溅射台托盘对准转移装置

权利要求书

1.一种溅射台托盘对准转移装置，其特征是：包括夹具操作装置（1）、能置于所述夹具操作装置（1）内的溅射台托盘（3）以及能套置在所述溅射台托盘（3）上的对准夹具（2）；

在对准夹具（2）上设置若干均匀分布的夹爪压紧机构，所述夹爪压紧机构包括压紧夹爪（20）以及能控制压紧夹爪（20）压紧状态的夹爪状态控制机构，通过压紧夹爪（20）能对处于对准状态的衬底（44）与掩膜板（45）进行压紧；

在溅射台托盘（3）上设置若干弹性压紧机构（37），对准夹具（2）套置在溅射台托盘（3）上后，利用弹性压紧机构（37）能对处于对准状态的衬底（44）与掩膜板（45）进行压紧，以将处于对准状态的衬底（44）与掩膜板（45）转移至溅射台托盘（3）上；通过夹爪控制状态机构使得压紧夹爪（20）张开时，能将溅射台托盘（3）从对准夹具（2）内移出。

2.根据权利要求1所述的溅射台托盘对准转移装置，其特征是：所述夹具操作装置（1）包括夹具拆装底盘（11）以及位于所述夹具拆装底盘（11）正上方的夹具拆装面板（4），所述夹具拆装面板（4）通过铰链（5）与夹具拆装底盘（11）连接，在夹具拆装底盘（11）上还设置能对夹具拆装面板（4）进行支撑的面板定位柱（14）；

在夹具拆装底盘（11）的中心区设置转移托盘支撑板（13），在转移托盘支撑板（13）上设置若干能与溅射台托盘（3）适配的转移托盘定位销（12），在转移托盘支撑板（13）的外圈设置若干能与对准夹具（2）适配的夹具定位销（16）。

3.根据权利要求2所述的溅射台托盘对准转移装置，其特征是：所述溅射台托盘（3）包括托盘体（36）以及若干设置于托盘体（36）内的托盘体定位孔（46），托盘体（36）通过托盘体定位孔（46）与转移托盘定位销（12）配合能置于转移托盘支撑板（13）上，托盘体（36）上还设置若干能与对准夹具（2）适配的托盘定位缺口（38）。

4.根据权利要求3所述的溅射台托盘对准转移装置，其特征是：所述弹性压紧机构（37）包括能相对托盘体（36）运动的弹性压杆（39）以及设置于弹性压杆（39）上的托盘压板（40），托盘压板（40）位于托盘体（36）的上方且所述托盘压板（40）与托盘体（36）相互平行；

弹性压杆（39）的下部位于托盘体（36）内的弹性体放置槽（49）内，弹性体放置槽（49）内设置套在弹性压杆（39）上的压杆弹性体（41），弹性压杆（39）位于弹性体放置槽（49）的端部设置用于支撑压杆弹性体（41）的弹性挡片（43）。

5.根据权利要求3所述的溅射台托盘对准转移装置，其特征是：所述对准夹具（2）包括夹具体（21）以及位于所述夹具体（21）中心区的夹具体通孔（22），夹具体通孔（22）贯通夹具体（21）且夹具体通孔（22）与托盘体（36）适配，夹具体（21）通过夹具体通孔（22）能套置在托盘体（36）上，夹具体（21）套置在托盘体（36）上后，夹具体（21）与托盘体（36）呈同轴分布；

在夹具体（21）上还设置与压紧夹爪（20）对应的对准支撑块（47），所述对准支撑块（47）能置于托盘体（36）上的托盘定位缺口（38）内。

6.根据权利要求5所述的溅射台托盘对准转移装置，其特征是：所述夹爪状态控制机构包括与压紧夹爪（20）适配连接的压爪连接机构以及与所述压爪连接机构适配的状态操作机构，所述压爪连接机构设置于夹具体（21）上，状态操作机构设置于夹具拆装面板（4）上，通过状态操作机构与压爪连接机构配合能控制压紧夹爪（20）对衬底（44）、掩膜板（45）的压紧状态；

所述压爪连接机构包括能在夹具体（21）上滑动的夹爪拉块（27）以及与所述夹爪拉块（27）适配连接的夹爪拉块拉簧（26），压紧夹爪（20）通过夹爪连接头（24）与夹爪拉块（27）连接，通过夹爪拉块拉簧（26）与夹爪拉块（27）配合能使得压紧夹爪（20）能对衬底（44）、掩膜板（45）进行压紧；通过状态操作机构驱动夹爪拉块（27）在夹具体（21）上向远离夹具体（21）中心的方向运动时，能使得压紧夹爪（20）向上翘起。