[实用新型]一种可视化半导体光电化学微加工装置有效
| 申请号： | 201920682650.7 | 申请日： | 2019-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN210150713U | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 刘国华;麦满芳;杜亮;马信洲 | 申请（专利权）人： | 佛山科学技术学院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C99/00;H01L21/3063;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢泳祥 |
| 地址： | 528000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 可视化 半导体 光电 化学 加工 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种可视化半导体光电化学微加工装置，其特征在于，包括：半导体样品、光源、电解池、恒电位仪、光学斩波器、图像采集模块和电脑处理终端；
所述电解池内设有参比电极和对电极，参比电极、对电极和作为工作电极的半导体样品浸泡在电解液中，所述参比电极、对电极和半导体样品均与恒电位仪电性连接；
所述光源位于所述半导体样品的上方，用于照射所述半导体样品，所述光学斩波器位于所述光源和半导体样品之间，用于遮挡光源；所述图像采集模块用于采集半导体样品的图像；所述图像采集模块和恒电位仪均与所述电脑处理终端电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种可视化半导体光电化学微加工装置，其特征在于：所述半导体样品和图像采集模块之间还有光学显微镜。
3.根据权利要求1所述的一种可视化半导体光电化学微加工装置，其特征在于：所述图像采集模块设置在半导体样品的下方，所述图像采集模块与三维移动平台固定连接，所述三维移动平台带动所述图像采集模块移动，对焦半导体样品的表面。
4.根据权利要求1所述的一种可视化半导体光电化学微加工装置，其特征在于：所述图像采集模块为CCD相机。
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