[实用新型]一种不产生渣浆的多晶硅生产装置

权利要求书

1.一种不产生渣浆的多晶硅生产装置，其特征在于，包括流化床反应器(1)、原料硅粉罐(2)、气体分布器(3)、细粉收集罐(4)、以及细硅粉回收罐(5)；

所述原料硅粉罐(2)与流化床反应器(1)底部进料口连接，将原料硅粉送入流化床反应器(1)内；

所述气体分布器(3)位于流化床反应器(1)的底端，将原料气体SiCl₄和H₂导入流化床反应器(1)内；

所述细粉收集罐(4)与流化床反应器(1)顶部出料口连接，其顶部开口并设有金属过滤器(41)，通过金属过滤器(41)将流化床反应器(1)排出的合成气中的细粉截留并收集在细粉收集罐(4)内；

所述细硅粉回收罐(5)的顶部进料口与细粉收集罐(4)底部出料口连接，细硅粉回收罐(5)的底部出料口与流化床反应器(1)底部另一进料口连接；所述细粉收集罐(4)将收集的细粉导入细硅粉回收罐(5)内，再通过细硅粉回收罐(5)导入到流化床反应器(1)内重复利用。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述金属过滤器(41)包括两个以上水平排列的滤芯(411)，以及用于安装滤芯(411)的上部孔板(412)和底部格栅(413)，上部孔板(412)和底部格栅(413)之间通过拉杆(414)连接；所述滤芯(411)材质为金属间化合物FeAI，其顶部开口并穿过上部孔板(412)；所述上部孔板(412)设有对应滤芯(411)顶部开口的环形弹簧座(415)；所述弹簧座(415)上部开口穿过承压板(416)；所述上部孔板(412)与承压板(416)之间通过螺栓连接，所述螺栓外套有定距管(417)；所述环形弹簧座(415)上套有螺旋弹簧(418)。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述细粉收集罐(4)底部出料口与细硅粉回收罐(5)的顶部进料口之间连接的管道上设有压力阀(6)，当细粉收集罐(4)内的压力达到压力阀(6)设定值时，所述压力阀(6)开启使得细粉收集罐(4)底部出料口与细硅粉回收罐(5)的顶部进料口之间连通。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述细硅粉回收罐(5)的顶部连通排空罐(7)，且连接管道上设有泄压阀(8)；所述排空罐(7)顶部开口并设有排放气过滤器(71)。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述原料硅粉罐(2)和细硅粉回收罐(5)分别通过管道连接外部的高压氢气缓存罐，通过高压氢气分别将原料硅粉罐(2)和细硅粉回收罐(5)内的物料送入流化床反应器(1)内。

6.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述金属过滤器(41)顶部设有反吹清洗装置(9)，所述反吹清洗装置(9)与承压板(416)连接，并通过管道连接外部的高压氢气缓存罐，通过高压氢气将金属过滤器(41)中滤芯(411)上的细粉吹洗下来并收集储存在细粉收集罐(4)内。

7.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述滤芯(411)的顶部开口穿过上部孔板(412)处设有环形密封垫(419)；所述滤芯(411)的顶部开口与环形弹簧座(415)之间设有水平密封垫(420)。