[实用新型]一种高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台

权利要求书

1.一种高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台，其特征在于：其包括基座、动平台、刚性框架、四个第一柔性支链和一个第二柔性支链；四个所述第一柔性支链呈正方形分布在所述动平台的四周并位于所述刚性框架内，所述第一柔性支链、所述动平台和所述刚性框架共同布置在XY平面内；所述第一柔性支链包括两个板面呈纵向设置的第一柔性薄板、四个板面呈纵向设置且与所述第一柔性薄板垂直的第二柔性薄板以及两个板面呈水平设置的第三柔性薄板；两个所述第一柔性薄板的一端通过刚性连接件一连接，另一端通过刚性连接件二连接；四个所述第二柔性薄板两两一组对称设置在所述第一柔性薄板的左右两侧，且其一端与所述刚性连接件一固接，另一端与所述刚性框架固接，所述刚性框架与所述基座固接；两个所述第三柔性薄板对称设置在所述第一柔性薄板的上下两侧，且其一端与所述刚性连接件二固接，另一端与所述动平台固接；所述刚性框架内还分别固定有X向电磁驱动器和Y向电磁驱动器，所述X向电磁驱动器和Y向电磁驱动器的驱动端分别与相邻的两个所述刚性连接件一连接；所述第二柔性支链设置在所述动平台与所述基座之间，所述第二柔性支链包括双四杆型柔性模块、连接模块和四个四杆型柔性模块，四个所述四杆型柔性模块呈矩形分布在所述连接模块的四周，所述四杆型柔性模块中的四个第一柔性杆均呈水平设置且呈矩形分布，四个所述第一柔性杆的一端通过刚性连接件三与所述基座固接，另一端通过刚性连接件四与所述连接模块固接；所述双四杆型柔性模块包括八个呈纵向设置的第二柔性杆，八个第二柔性杆的下端分别固接在呈正方形框架结构的刚性连接件五的四个拐点和四个中点位置，位于所述拐点位置的四个所述第二柔性杆的上端分别通过刚性连接件六与所述动平台固接，位于所述中点位置的四个所述第二柔性杆的上端通过刚性连接件七与所述连接模块固接；所述基座上还固定有Z向电磁驱动器，所述Z向电磁驱动器的驱动端与所述连接模块的底面固接。

2.根据权利要求1所述的一种高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台，其特征在于：所述基座包括呈水平设置的底板和四个呈纵向设置的支柱，四个所述支柱呈矩形分布，所述支柱的下端固接在所述底板上，所述刚性框架的边缘固接在四个所述支柱上。

3.根据权利要求2所述的一种高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台，其特征在于：所述支柱与所述底板一体制成，所述支柱的顶面上开有螺纹孔，所述刚性框架上对应所述螺纹孔开有通孔，螺钉一穿过所述通孔后旋拧在所述螺纹孔内将所述刚性框架与所述支柱固接。

4.根据权利要求1所述的一种高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台，其特征在于：所述刚性连接件一为U形连接件且其开口朝向所述动平台，所述刚性连接件二为板状连接件并设置在所述U形连接件的内侧，所述U形连接件的两端分别设有向内延伸的凸缘，两个所述第一柔性薄板平行于所述U形连接件的支臂且其一端分别与两个所述凸缘固接，另一端均与所述板状连接件固接，所述板状连接件与所述U形连接件的内侧壁之间留有供所述第一柔性薄板变形的间隙；位于所述第一柔性薄板左右两侧的所述第二柔性薄板的一端固接在所述U形连接件的支臂上；所述X向电磁驱动器和Y向电磁驱动器的驱动端分别与相邻的两个所述U形连接件的后端面连接。

5.根据权利要求4所述的一种高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台，其特征在于：所述刚性框架与所述第一柔性支链一体制成，所述第一柔性薄板、所述刚性连接件一、所述刚性连接件二以及所述第二柔性薄板一体制成。

6.根据权利要求4所述的一种高精度大行程大有效台面空间平动精密定位平台，其特征在于：所述动平台为矩形板状结构，所述动平台的四条边上对应所述U形连接件的开口分别设有凸块，所述凸块伸入所述U形连接件的开口并与所述U形连接件之间留有间隙，所述U形连接件的支臂前端与所述动平台之间也留有间隙；所述第三柔性薄板的宽度小于两个所述第一柔性薄板之间的距离，所述第三柔性薄板的长度方向两端分别设有凸台，位于前部的所述凸台固接在所述凸块上，位于后部的所述凸台固接在所述板状连接件上。