[实用新型]一种平面靶材的绑定设备有效
申请号: | 201920684656.8 | 申请日: | 2019-05-14 |
公开(公告)号: | CN210085565U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 文锋 | 申请(专利权)人: | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 林晓宏 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 平面 绑定 设备 | ||
1.一种平面靶材的绑定设备,绑定设备包括加热平台(2)和活动设置于加热平台(2)上方的吸盘吊具(1),吸盘吊具(1)设置有吊具主架(11),吊具主架(11)安装有多个吸盘(13),吸盘(13)的吸附面面向加热平台(2)的台面,其特征在于:吸盘吊具(1)设置有一用作调节起吊工件的倾斜度的吸盘支架(12)和角度调节机构,
吸盘支架(12)与吊具主架(11)之间通过铰链连接,各吸盘(13)分别安装于吸盘支架(12)的底部,各吸盘(13)分别沿铰链的轴线方向并排设置;
角度调节机构传动连接吸盘支架(12),以驱动吸盘支架(12)以铰链为转轴进行转动。
2.根据权利要求1所述的一种平面靶材的绑定设备,其特征在于:所述角度调节机构设置为电动调节结构或手动调节结构。
3.根据权利要求2所述的一种平面靶材的绑定设备,其特征在于:所述角度调节机构设置为电动调节结构,电动调节结构设置有至少一个电动缸(14),电动缸(14)的第一端铰性连接所述吊具主架(11),电动缸(14)的第二端铰性连接所述吸盘支架(12)的侧部。
4.根据权利要求1至3任一项所述的一种平面靶材的绑定设备,其特征在于:所述加热平台(2)包括有平台支架(21)和平台加热组件,平台加热组件固定于平台支架(21),
平台加热组件设置有发热板、石墨板(23)、铝合金板(24)、柔性导热层(25)和保护层(26),发热板、石墨板(23)、铝合金板(24)、柔性导热层(25)和保护层(26)由下到上依次设置于平台支架(21)的顶部,石墨板(23)内设置有至少一个热电偶(27),
各所述吸盘(13)位于保护层(26)的上方。
5.根据权利要求4所述的一种平面靶材的绑定设备,其特征在于:所述发热板包括有一陶瓷板(22),陶瓷板(22)的上表面盘卷设置有发热线圈(221),所述石墨板(23)压覆于发热线圈(221)之上,陶瓷板(22)的上表面和石墨板(23)的下表面之间的空隙填充有硅凝胶。
6.根据权利要求5所述的一种平面靶材的绑定设备,其特征在于:所述石墨板(23)等间隔开设有多个插孔,各所述热电偶(27)分别插设于相应的插孔内。
7.根据权利要求6所述的一种平面靶材的绑定设备,其特征在于:所述铝合金板(24)内开设有插孔,该插孔内插设有另一热电偶(27)。
8.根据权利要求7所述的一种平面靶材的绑定设备,其特征在于:所述柔性导热层(25)设置为硅胶材料制成的质软的导热垫片。
9.根据权利要求8所述的一种平面靶材的绑定设备,其特征在于:所述保护层(26)包括有铝片和保温石棉,铝片被包裹于保温石棉。
10.根据权利要求9所述的一种平面靶材的绑定设备,其特征在于:所述绑定设备设置有控制电路,各个所述热电偶(27)和所述发热线圈(221)分别电连接于控制电路。
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