[实用新型]用旋转毛玻璃消散斑的检测透镜面型用装置有效

专利信息
申请号: 201920686111.0 申请日: 2019-05-14
公开(公告)号: CN209764030U 公开(公告)日: 2019-12-10
发明(设计)人: 陈玉芳;吴振聪;王敏;邵晓萍 申请(专利权)人: 福建师范大学
主分类号: G01B11/255 分类号: G01B11/255
代理公司: 35100 福州元创专利商标代理有限公司 代理人: 林捷;蔡学俊
地址: 350117 福建省福州市闽侯县*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 偏振分光器 组合式 旋转毛玻璃 本实用新型 消散斑 激光扩束镜 光学样板 毛玻璃屏 随机变化 透镜面型 图像处理 图像散斑 系统检测 被测镜 发散角 聚光镜 噪声点 散斑 光源 叠加 检测
【说明书】:

本实用新型涉及一种用旋转毛玻璃消散斑的检测透镜面型用装置,包括组合式偏振分光器,所述组合式偏振分光器正右方设置有旋转毛玻璃屏,所述组合式偏振分光器与毛玻璃屏之间设置有标准聚光镜。所述组合式偏振分光器正上方设置有光学样板,所述组合式偏振分光器正左方设置有被测镜,所述组合式偏振分光器正下方设置有激光扩束镜。本实用新型采用旋转毛玻璃屏消散斑的方法使光源的发散角发生随机变化,让散斑能够快速产生叠加,实现图像散斑噪声点的消除,大大提高了后期图像处理速度,提升了系统检测精度。

技术领域:

本实用新型涉及一种用旋转毛玻璃消散斑的检测透镜面型用装置。

背景技术:

目前,检验抛光后的光学零件面形偏差通常采用光学样板或干涉仪检测,检验方法都是根据光的干涉原理,在光学车间检验光学零件的面形偏差,常用的方法有干涉图样法和阴影法。干涉图样法可分为接触法(即样板法)和非接触法(即干涉仪法)。

在光学车间光学镜片面形偏差检测通常采用光学样板法,而镜片下盘后出厂前的终检采用干涉仪检测法。二者都是根据光的干涉原理,通过观察到的干涉条纹的数目、形状、变化状态和颜色来确定镜片的面形偏差。样板法检测需要将待测镜片和光学样板直接接触,加压观察,这种检测方法不仅对镜片的表面光洁度造成一定程度的破坏,多次测量还会使光学样板磨损,给测量结果带来误差,造成反复返工甚至报废、大大降低了生产效率、增加了生产成本。干涉仪(以美国 zego 为例)属于非接触无损检测,测量精度高,但价格昂贵,而且测量范围受到标准镜头相关孔径的限制,需要多种规格的标准镜头,并且需要一定长度的导轨来实现基准面的球心从待测透镜的球面顶点移动到与被测面的球心重合,通过测量移动的距离获得待测透镜的曲率半径。干涉图不能反映曲率半径相对名义值的偏差,不适用于车间的在线检测。

专利申请号 CN201010550796“透镜面形偏差检测装置及其方法”公开了一种小型球面干涉仪,该干涉仪使用两个完全相同的等边直角棱镜胶合而成的分光棱镜(结合面镀有半反半透膜),将检测光束分成透射和反射两束光,分别照射在待测镜片和光学样板上反射在接收屏上形成干涉条纹,它用于无损检验球面镜片偏差。但这种方法无法消除光源的亮斑和杂散光,采集到的干涉条纹对比度较差。且用平行光作为检测光,要求检测装置各光学元件口径较大,且光能利用率较低,产生的背景噪声较大,严重影响图像质量,使后期图像处理的误差变大。

激光的相干性和各个光学元件上的缺陷都会使干涉图产生牛顿环或者散斑噪声,影响采集到的干涉图像质量,降低其分辨率,对后期进行波面拟合带来更大的误差。

发明内容:

本实用新型的目的在于提供一种用旋转毛玻璃消散斑的检测透镜面型用装置。

本实用新型解决技术问题所采用的方案是:

本实用新型用旋转毛玻璃消散斑的检测透镜面型用装置,包括组合式偏振分光器,所述组合式偏振分光器正右方设置有旋转毛玻璃屏,所述组合式偏振分光器与毛玻璃屏之间设置有标准聚光镜,所述组合式偏振分光器正上方设置有光学样板,所述组合式偏振分光器正左方设置有被测镜,所述组合式偏振分光器正下方设置有激光扩束镜和位于激光扩束镜下方的激光器,所述旋转毛玻璃屏正右方设置有接收屏。

进一步的,上述组合式偏振分光器包括由两个相同的等腰直角三棱镜胶合而成的立方棱镜,其中一个等腰直角三棱镜的胶合面镀有偏振分光介质膜。

进一步的,上述立方棱镜的正下方与激光扩束镜正上方之间设置有检偏器,立方棱镜的正右方与标准聚光镜正左方之间设有起偏器,所述立方棱镜的正上方和正左方均设置有 1/4 波片。

进一步的,上述旋转毛玻璃屏通过旋转轴承与旋转电机相连接,电机工作使旋转轴承带动毛玻璃屏转动。

进一步的,上述检偏器和起偏器为偏振片。

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