[实用新型]柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置

权利要求书

1.柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置，它包括一个由隔板分隔而成放卷腔、镀膜腔、收卷腔的腔体，以惰性气体为工作气体，放卷腔内的放卷台连续分别释放柔性超薄基带和柔性辅助基带，镀膜腔内的冷鼓为牵引主动轮驱动由柔性超薄基带和柔性辅助基带贴合而成的复合基带连续移动，收卷腔内的收卷台连续分别对成膜和柔性辅助基带进行收卷；柔性辅助基带与冷鼓紧密贴合，复合基带移动设置在冷鼓和环绕冷鼓设置的磁控溅射装置沉积阴极室之间，其特征是，放卷腔真空度和收卷腔真空度高于镀膜腔真空度；在隔板上开设有用于使复合基带由放卷腔穿行至镀膜腔、使柔性辅助基带和在柔性辅助基带上贴合有成膜的复合膜带由镀膜腔穿行至收卷腔的穿行窗口；在穿行窗口上设置有高低真空腔真空度隔离装置，在穿行窗口和放卷台之间转动设置有用于排除柔性辅助基带、柔性超薄基带之间尚存气体、使柔性辅助基带、柔性超薄基带紧密贴合为复合基带的基带复合挤压辊，在穿行窗口和收卷台之间转动设置有用于辅助复合膜带分离为柔性辅助基带和成膜的膜材分离辅助辊；它还包括设置在放卷台和穿行窗口之间用于调节放卷速度的放卷调节装置，设置在穿行窗口和收卷台之间用于调节成膜收卷速度的收卷调节装置。

2.根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置，其特征是，还包括转动设置在镀膜腔内的复合基带导向辊和复合膜带导向辊，复合基带移动设置在复合基带导向辊上，复合膜带移动设置在复合膜带导向辊上；基带复合挤压辊的中缝、高低真空腔真空度隔离装置的中缝、复合基带导向辊的工作母线共面；复合膜带导向辊的工作母线、高低真空腔真空度隔离装置的中缝、膜材分离辅助辊的中缝共面。

3.根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置，其特征是，放卷台包括用于连续释放柔性超薄基带的柔性超薄基带放卷台和用于连续释放柔性辅助基带的柔性辅助基带放卷台；收卷台包括用于连续卷收成膜的成膜收卷台和用于连续卷收柔性辅助基带的柔性辅助基带收卷台；在膜材分离辅助辊上转动设置有用于对膜材分离辅助辊施加驱动力或滞动力的复合膜带辅助牵引辊。

4.根据权利要求1或3所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置，其特征是，柔性超薄基带放卷台、柔性辅助基带放卷台、成膜收卷台和柔性辅助基带收卷台皆由力矩电机驱动，力矩电机与设置在腔体上的电控箱强电连接；放卷调节装置包括柔性超薄基带放卷调节装置和柔性辅助基带放卷调节装置，柔性超薄基带放卷调节装置包括设置在放卷腔内、与电控箱弱电连接的柔性超薄基带压力传感器，柔性超薄基带移动设置在柔性超薄基带压力传感器上，柔性辅助基带放卷调节装置包括设置在放卷腔内、与电控箱弱电连接的柔性辅助基带压力传感器，柔性辅助基带移动设置在柔性辅助基带压力传感器上；牵引调节装置包括设置在镀膜腔内、与电控箱弱电连接的复合膜带压力传感器，复合膜带移动设置在复合膜带压力传感器上；收卷调节装置包括设置在收卷腔内、与电控箱弱电连接的成膜压力传感器，成膜移动设置在成膜压力传感器上。

5.根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置，其特征是，在放卷腔内还设置有用于对柔性超薄基带的预沉积表面进行处理的辉光放电离子表面预处理室；在收卷腔内还设置有用于即时监测镀膜质量的在线监测室。

6. 根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置，其特征是，磁控溅射镀膜机运行时，放卷腔、表面预处理室G1、在线监测室、收卷腔G3的真空度为6X10^-7torr，工作气体流量为0；镀膜腔G2真空度为4 X10^-3 torr，工作气体流量500 sccm。

7.根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置，其特征是，工作气体为氩气。

8.根据权利要求1所述的柔性卷对卷磁控溅射镀膜中超薄基带牵引装置，其特征是，柔性超薄基带和柔性辅助基带皆为PET。