[实用新型]喷胶机喷头防堵盖有效
申请号: | 201920687249.2 | 申请日: | 2019-05-14 |
公开(公告)号: | CN209985642U | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 王云翔;冒薇;段仲伟;马冬月;许爱玲;李晓帅;祝翠梅;姚园 | 申请(专利权)人: | 苏州美图半导体技术有限公司 |
主分类号: | B05B15/50 | 分类号: | B05B15/50 |
代理公司: | 32288 南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 苗建 |
地址: | 215123 江苏省苏州市工*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷头 储液槽 喷胶机 丙酮 本实用新型 密封盖 防堵 毛细管 密封面 挥发 丙酮液体 丙酮蒸汽 定位侧壁 密封盖套 堵塞 槽口 放入 晶圆 盛放 适配 套在 贴合 停用 头端 精密 湿润 脱离 | ||
本实用新型涉及一种防堵盖,尤其是一种喷胶机喷头防堵盖,属于喷胶机的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案,所述喷胶机喷头防堵盖,包括能套在二元喷头上的密封盖,在所述密封盖内设置用于盛放丙酮容易的储液槽,在储液槽槽口设置与二元喷头适配的密封面。本实用新型储液槽内部可以盛有少量丙酮液体,密封盖套在二元喷头的头端,密封面与二元喷头外表面精密贴合,防止储液槽内部丙酮挥发过快,同时定位侧壁与二元喷头外表面紧配,可防止密封盖与二元喷头间脱离。在晶圆喷胶机停用时,在储液槽内放入丙酮,丙酮挥发产生的丙酮蒸汽会时刻保持毛细管内部液体湿润,从而防止毛细管堵塞,即能防止二元喷头的堵塞,使用方便,安全可靠。
技术领域
本实用新型涉及一种防堵盖,尤其是一种喷胶机喷头防堵盖,属于喷胶机的技术领域。
背景技术
在MEMS领域,晶圆喷胶机是一种常用的设备,通过二元喷头将液体打散成微米级小雾滴,然后对晶圆进行喷。二元喷头内部供液是通过毛细管(孔径100微米左右)完成,当晶圆喷胶机停用过程中(如夜间、周末),毛细管内部的液体容易凝固堵塞毛细管,由于毛细管内部孔径尺寸非常小,被堵塞后很难疏通,只能报废处理。
发明内容
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种喷胶机喷头防堵盖,其结构紧凑,能有效防止喷胶机喷头的堵塞,使用方便,安全可靠。
按照本实用新型提供的技术方案,所述喷胶机喷头防堵盖,包括能套在二元喷头上的密封盖,在所述密封盖内设置用于盛放丙酮容易的储液槽,在储液槽槽口设置与二元喷头适配的密封面。
在所述密封盖上还设置定位侧壁,所述定位侧壁在密封盖上呈竖直分布,二元喷头的头端伸入储液槽内时,定位侧壁贴合在二元喷头上。
所述密封面呈喇叭状。
所述密封盖与定位侧壁采用PP材料一体加工成型。
本实用新型的优点:储液槽内部可以盛有少量丙酮液体,密封盖套在二元喷头的头端,密封面与二元喷头外表面精密贴合,防止储液槽内部丙酮挥发过快,同时定位侧壁与二元喷头外表面紧配,可防止密封盖与二元喷头间脱离。在晶圆喷胶机停用时,在储液槽内放入丙酮,丙酮挥发产生的丙酮蒸汽会时刻保持毛细管内部液体湿润,从而防止毛细管堵塞,即能防止二元喷头的堵塞,使用方便,安全可靠。
附图说明
图1为本实用新型的示意图。
图2为本实用新型与二元喷头配合使用的立体图。
图3为本实用新型与二元喷头配合使用的剖视图。
附图标记说明:1-密封盖、2-定位侧壁、3-储液槽、4-密封面、5-槽口以及6-二元喷头。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1、图2和图3所示:为了能有效防止喷胶机喷头的堵塞,本实用新型包括能套在二元喷头6上的密封盖1,在所述密封盖1内设置用于盛放丙酮容易的储液槽3,在储液槽3槽口设置与二元喷头6适配的密封面4。
具体地,喷胶机喷头即为二元喷头6,密封盖1能与二元喷头6适配,密封盖1呈柱状,即密封盖1能套在二元喷头6的头端,当密封盖1套在二元喷头6上时,二元喷头6的头端伸入储液槽3内,通过密封面4能密封二元喷头6与储液槽3槽口5的结合部。
进一步地,在所述密封盖1上还设置定位侧壁2,所述定位侧壁2在密封盖1上呈竖直分布,二元喷头6的头端伸入储液槽3内时,定位侧壁2贴合在二元喷头6上。
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