[实用新型]一种旋转支撑废气处理设备

说明书

本实用新型公开了一种旋转支撑废气处理设备，涉及半导体行业废气处理技术领域，包括机台本体，所述机台本体包括机架以及安装于机架内的废气处理系统，本实用新型通过设置等离子体火炬、反应塔、水箱和洗涤塔，实现废气的处理，通过设置支撑架、伺服电机辅助反应塔从机台本体中旋转出，且由于设置了伺服电机，可以控制旋转位置，实现自定位，直接在助力支撑装置上进行清洗维护，避免了因机台本体内部维护空间狭小导致的反应塔维护、安装与拆卸的不便，通过设置助力支撑装置，避免支撑架单点受力不牢靠，增加旋转支撑装置结构的稳定性，本装置结构简单，实用性高、维护省时省力。

技术领域

本实用新型涉及半导体行业废气处理技术领域，具体涉及一种旋转支撑废气处理设备。

背景技术

随着半导体行业的日益繁荣，产能激增，半导体厂商对废气处理设备占地面积和维护空间有了一定限制，造成设备内部空间紧凑，生产安装不便，后期维护操作麻烦，现有的半导体废气处理设备支撑多固定于机台内部，后期维护空间狭小，拆卸繁琐，反应塔是废气处理设备中关键装置之一，经常需要维护且由于自身比较沉重，单人难以进行拆卸维护。

因此，需要一种既满足半导体厂商对设备占地面积和空间的要求又满足关于反应塔的安装、拆卸和维护简单方便的废气处理设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种旋转支撑废气处理设备，以解决现有技术中废气处理设备维护空间狭小且关于反应塔的安装、拆卸和维护繁琐不便的缺陷。

一种旋转支撑废气处理设备，包括机台本体，所述机台本体包括机架以及安装于机架内的废气处理系统，所述废气处理系统包括将废气燃烧的等离子体火炬和对废气依次进行第一步净化、第二步净化、第三步净化的的反应塔、水箱、洗涤塔，所述等离子体火炬下端与反应塔上端、所述反应塔下端与水箱、所述水箱与洗涤塔之间均通过卡箍连接，所述水箱侧面安装于机架内壁上，所述反应塔外卡接能将其旋转出机架的旋转支撑装置，所述旋转支撑装置底端安装于机架内壁上。

优选的，所述旋转支撑装置包括伺服电机，所述伺服电机的输出轴末端连接联轴器，所述联轴器上端连接支撑架，所述支撑架上端固定连接支撑板，所述支撑板上开有卡于反应塔中段部分外部的弧形槽，所述支撑架下端还设有避免支撑架单点受力的助力支撑装置。

优选的，所述支撑架包括两根结构相同的纵杆，所述纵杆上端固定连接支撑板且其下端固定连接横杆，所述横杆一端连接连接杆，另一端连接助力支撑装置，所述连接杆下端连接联轴器。

优选的，所述助力支撑装置包括支撑杆，所述支撑杆顶端设有将其连接在横杆下端的连接件，所述支撑杆下端开有螺纹孔并螺纹连接调节支脚。

优选的，所述连接件螺钉连接于横杆下端，所述连接件的一个侧面设有让位槽，所述连接件内转动连接转轴，所述转轴固定连接支撑杆的上端，所述转轴外螺纹连接螺母，所述螺母外连接有紧固手柄，所述横杆下端还设有能卡住支撑杆的塑料卡扣。

本实用新型的优点在于：本实用新型通过设置等离子体火炬、反应塔、水箱和洗涤塔，实现废气的处理，通过设置支撑架、伺服电机辅助反应塔从机台本体中旋转出，且由于设置了伺服电机，可以控制旋转位置，实现自定位，直接在助力支撑装置上进行清洗维护，避免了因机台本体内部维护空间狭小导致的反应塔维护、安装与拆卸的不便，通过设置助力支撑装置，避免支撑架单点受力不牢靠，增加旋转支撑装置结构的稳定性，本装置结构简单，实用性高、维护省时省力。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中机架与水箱的连接示意图。

图3、图4为本实用新型中旋转支撑装置不同视角的示意图。

图5为本实用新型中助力支撑装置的结构示意图。