[实用新型]一种对废气进行降温处理的双层水洗塔装置

说明书

本实用新型公开了一种对废气进行降温处理的双层水洗塔装置，涉及半导体行业废气清洁技术领域，包括水箱，所述水箱上通过卡箍连接有中空的洗涤塔,本实用新型洗涤塔分为第一洗涤腔室和第二洗涤腔室，在他们的上端分别安装有水管一和水管二，第二洗涤腔室的水管一与水箱中的泵连接，使得通入循环水，第一洗涤腔室的进水通入的是车间水源，比水管一中的水纯净，加强了降温洗涤效果，通过在水管二上设有电磁阀，在第二洗涤腔室上设置温度传感器，温度传感器将经过三次洗涤降温的废气测温后传输信号给处理器，从而调整水管二的水流量，提升设备的处理效率，过滤装置的设置提升了废气的排放质量。

技术领域

本实用新型涉及半导体废气清洁技术领域，具体涉及一种对废气进行降温处理的双层水洗塔装置。

背景技术

用于半导体制造工艺产生的气体具有强烈的特性，例如毒性、燃烧性、和腐蚀，直接排放到大气中不符合排放标准，需要各车间先进行废气处理后再通过总厂的排放系统排放，废气处理一般会先燃烧再洗涤降温，但是现有的废气降温处理往往是经燃烧处理后的气体直接经过水箱降温处理再排放，降温洗涤效果不明显，设备的处理效率不高，使得排放的气体难以达到排放标准。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种对废气进行降温处理的双层水洗塔装置，以解决现有技术中对废气进行降温洗涤效果不明显、设备的处理效率不高、排放的气体难以达到排放标准的缺陷。

一种对废气进行降温处理的双层水洗塔装置，包括水箱，所述水箱上通过卡箍连接有中空的洗涤塔，所述洗涤塔有两层且包括通过卡箍连接的第一洗涤腔室和第二洗涤腔室，所述第一洗涤腔室上连接有水管一，所述水管一另一端连接至水箱内的水泵，所述第二洗涤腔室上设有水管二，所述水管二连接车间自来水水源，所述水管一与水管二上均设有水阀，所述第二洗涤腔室顶端设有将废气进一步过滤的过滤装置。

优选的，所述过滤装置包括与第二洗涤腔室顶端螺纹连接的排气管，所述排气管底端安装过滤机构。

优选的，所述过滤机构包括支撑架，所述支撑架底端设有数个气孔且其内部设有数层过滤网并螺纹连接压紧圈。

优选的，所述支撑架侧面设有沿其轴线呈环形排列的插条，所述排气管底端开有沿其轴线呈环形排列的插槽，所述插条插接于插槽内。

优选的，所述支撑架的插条端面均设有拔销。

本实用新型的优点在于：洗涤塔分为第一洗涤腔室和第二洗涤腔室，在他们的上端分别安装有水管一和水管二，第二洗涤腔室的水管一与水箱中的泵连接，使得通入循环水，第一洗涤腔室的进水通入的是车间水源，比水管一中的水纯净，加强了降温洗涤效果，通过在水管二上设有电磁阀，在第二洗涤腔室上设置温度传感器，温度传感器将经过三次洗涤降温的废气测温后传输信号给处理器，从而调整水管二的水流量，提升设备的处理效率，过滤装置的设置提升了废气的排放质量。

附图说明

图1、图2为本实用新型不同视角的示意图。

图3为本实用新型中过滤装置的结构示意图。

图4为本实用新型中排气管的结构示意图。

图5、图6为本实用新型中过滤机构不同视角的结构示意图。

图7为图2中安装了电磁阀、温度传感器的结构示意图。

其中，1-水箱，2-卡箍，3-洗涤塔，4-第一洗涤腔室，5-第二洗涤腔室， 6-水管一，7-水管二，8-过滤装置，9-排气管，10-过滤机构，11-支撑架，12- 过滤网，13-压紧圈，14-插条，15-插槽，16-拔销。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。