[实用新型]一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔有效
申请号: | 201920702329.0 | 申请日: | 2019-05-16 |
公开(公告)号: | CN210473502U | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 章文军;杨春水;宁腾飞;陈彦岗;杨春涛;王继飞;张坤;闫萧;蔡传涛;席涛涛;王磊 | 申请(专利权)人: | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
主分类号: | B01D53/18 | 分类号: | B01D53/18;B01D53/14;B01D47/06 |
代理公司: | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 | 代理人: | 郑直 |
地址: | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 半导体 废气 处理 设备 水洗 | ||
1.一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔,其特征在于,包括与车间废气处理设备水箱连接用的连接管(1),所述连接管(1)上端卡箍连接水洗塔(2),所述水洗塔(2)上设有数个水管连接头(3),所述水管连接头(3)均连接车间的废气处理设备水箱,所述水洗塔(2)上端卡箍连接有能清洁水洗塔(2)塔壁污垢的溢流装置(4),所述溢流装置(4)上端卡箍连接上层水洗塔(5)。
2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔,其特征在于:所述溢流装置(4)包括直径相同的上连接件(6)和下连接件(7),所述上连接件(6)和下连接件(7)外套接溢流腔(8)且其端面之间设有溢流口(9),所述溢流腔(8)上连接有水管(10),所述水管(10)连接车间自来水源,所述上连接件(6)上端卡箍连接上层水洗塔(5)下端,所述下连接件(7)下端卡箍连接水洗塔(2)上端。
3.根据权利要求2所述的一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔,其特征在于:所述水洗塔(2)包括卡箍连接的下层水洗塔(11)和中层水洗塔(12)。
4.根据权利要求3所述的一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔,其特征在于:所述上层水洗塔(5)上设有套筒(13),所述套筒(13)外端口设有连接件一(14),所述连接件一(14)上安装有给上层水洗塔(5)通风的新风组合件(15)。
5.根据权利要求4所述的一种应用于半导体废气处理设备的水洗塔,其特征在于:所述新风组合件(15)包括与连接件一(14)螺钉连接的连接件二(16),所述连接件二(16)外设有四个沿其轴线呈环形排列的支撑柱(17),所述支撑柱(17)另一端连接底板(18),所述底板(18)上设有安装板(19)和气缸(20),所述气缸(20)的活塞杆末端穿过底板(18)并连接通风件(21),所述通风件(21)套于连接件二(16)、连接件一(14)和套筒(13)内,所述通风件(21)上设有数个进风孔(22)。
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