[实用新型]一种多线切片机有效
申请号: | 201920709405.0 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN209999503U | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 杨朝晖;程国平;吴彤;刘钊;王施童 | 申请(专利权)人: | 西安普晶半导体设备有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 11749 北京弘慧知识产权代理有限公司 | 代理人: | 朱紫晓 |
地址: | 710119 陕西省*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切割仓 主辊 主框架 升降台 喷砂管组件 进刀机构 组件设置 本实用新型 多线切片机 断线检测 排线组件 箱体组件 接料盒 粘料板 多线切割 切割效率 切割线 硅棒 绕线 收放 下端 切割 | ||
本实用新型涉及多线切割机构领域,具体涉及一种多线切片机,包括切割仓箱体组件、粘料板组件、断线检测组件、排线组件、升降台进刀机构;所述切割仓箱体组件包括切割仓主框架、主辊单元、喷砂管组件、接料盒组件;所述主辊单元、喷砂管组件、接料盒组件设置在切割仓主框架上;所述主辊单元包括两个切割主辊,所述喷砂管组件位于主辊单元的上部,所述升降台进刀机构设置在切割仓主框架上,所述粘料板组件设置在升降台进刀机构下端;所述排线组件设置在绕线仓中,用于收放切割线;所述断线检测组件设置在切割仓主框架上。本实用新型提出一种多线切片机,其可以提高切割效率高,减少硅棒损耗。
技术领域
本实用新型涉及多线切割机构领域,具体涉及一种多线切片机。
背景技术
传统的砂浆切片机采用游离磨料多线切削的方式进行切片,使用直径为 0.09~0.12mm的光滑钢线高速运动,带动SiC和聚乙二醇的混合切削液进入硅棒加工表面,通过钢线的压力使硅棒表面产生破裂的磨削加工。
砂浆切割对砂浆切削液要求较高,需要保证SiC磨粒的颗粒大小和锋利度、 PEG砂浆粘度、砂浆搅拌的均匀性等,同时钢线也需要保证较高的抗拉强度、表面镀层均匀、无损伤点,具有较高的循环疲劳强度和延伸率等。砂浆切割采用磨削加工,钢线走丝速度低,通常≤10m/s,切割效率低,钢线使用寿命短,切割大尺寸坯料时磨料难以进入到长而深的切缝,磨浆的处理和回收成本高,对环境污染大。同时现有的硅棒切片机的宽切缝也使硅棒损耗增高,单位长度硅棒的出片率低。
发明内容
为解决上述背景技术中存在的问题,本实用新型提出一种多线切片机,其可以提高切割效率高,减少硅棒损耗。
本实用新型解决上述问题的技术方案是:一种多线切片机,其特殊之处在于:
包括切割仓箱体组件、粘料板组件、断线检测组件、排线组件、升降台进刀机构和绕线仓;
所述切割仓箱体组件包括切割仓主框架、主辊单元、喷砂管组件、接料盒组件;所述主辊单元、喷砂管组件、接料盒组件设置在切割仓主框架上;所述主辊单元包括两个切割主辊,两个切割主辊平行设置,所述喷砂管组件位于主辊单元的上部,
所述升降台进刀机构设置在切割仓主框架上,并位于两个切割主辊的上部,所述粘料板组件设置在升降台进刀机构下端,其作用是粘贴硅棒,当升降台进刀机构下行至线网时,进行切割硅棒;
所述接料盒组件位于两个切割主辊之间的下部,通过两端支撑固定安装在两端轴承箱上,接料盒组件的作用是当硅料向下切割时,被切割下来的硅料碎片会随线网作水平移动,慢慢会落在接料盒内,起承接掉落下来的硅片的作用;
所述排线组件设置在绕线仓中,用于收放切割线;
所述断线检测组件设置在切割仓主框架上,作用是当切割线断线后,检测断线后急时报警,停机。
进一步地,上述切割主辊的直径为190~210mm,切割主辊的间距为390mm。
进一步地,上述粘料板包括第一底板以及设置在第一底板上的多个用于固定硅棒的制动块。
进一步地,上述排线组件包括排线电机、排线定位承载和排线护罩,所述排线护罩安装在排线电机和排线定位承载外围,防止切割液和灰尘进入。
进一步地,上述喷砂管组件包括流砂管、砂浆管体、前支座和后支座;
所述砂浆管体包括方管、底板和中间导流板;所述底板包括L型板和折弯板,所述L型板包括竖板和横板,所述折弯板固定在竖板的上表面;所述方管固定在竖版的内表面上,所述方管的下表面和横板之间存在间隙;所述中间导流板设置在方管内;所述中间导流板由钣金件折弯而成,所述中间导流板包括两个导流面,所述导流面上设有多个导流孔;所述方管的上部设有切割液入口,所述方管的下部设有切割液出口;
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