[实用新型]一种转移微纳样品的结构有效
| 申请号： | 201920720829.7 | 申请日： | 2019-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN209963017U | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 韩晓东;李志鹏;毛圣成;邓青松;张剑飞;翟亚迪;李雪峤;张晴;马东锋;栗晓辰;马腾云;王立华;张泽 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N23/2005;G01N1/28 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苗青盛;谭云 |
| 地址： | 100022 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 载物板 样品区 本实用新型 挡板 待测材料 过渡区 粘接区 溅射 沉积 损伤 设备技术领域 离子束辐照 材料领域 力学平台 目标载体 透射电镜 显微实验 样品转移 切削 加载 粘接 轰击 污染 应用 | ||
1.一种转移微纳样品的结构，其特征在于，包括载物板、挡板以及基体；
所述载物板与所述挡板连接呈“L”型，所述载物板的一端与所述基体相连，所述基体垂直于所述载物板与所述挡板；
所述载物板上沿靠近所述基体的方向依次为样品区、过渡区以及粘接区；
所述样品区用于搭载待测材料块，所述过渡区用于将所述样品区与所述粘接区分隔开，所述粘接区用于与目标载体进行连接。
2.根据权利要求1所述的转移微纳样品的结构，其特征在于，所述挡板与所述基体之间留有预设的间隙；
所述载物板上还设置有第一支撑区；
所述第一支撑区位于所述样品区靠近所述挡板的一侧；
和/或，所述载物板上还设置有第二支撑区，所述第二支撑区位于所述样品区远离所述挡板的一侧。
3.根据权利要求2所述的转移微纳样品的结构，其特征在于，所述第一支撑区的宽度d、所述挡板的高度Hs以及根据透射电镜实验需求所述转移微纳样品的结构绕所述载物板的长轴方向倾转的角度α，满足公式
d＞Hs*tanα。
4.根据权利要求2所述的转移微纳样品的结构，其特征在于，所述第一支撑区的宽度d、所述挡板的高度Hs、所述样品区的宽度e以及所用聚焦离子束双束系统中电子束与离子束的夹角β，满足公式
d+e＜Hs*tanβ。
5.根据权利要求2所述的转移微纳样品的结构，其特征在于，所述挡板的长度Ls、所述载物板的长度Lc以及所述粘接区的宽度c，满足公式
Ls＝Lc-c。
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