[实用新型]一种直写式曝光机

权利要求书

1.一种直写式曝光机，其包括底座、置于所述底座上平行排列的第一龙门机构、第二龙门机构、步进轴运动组件、置于所述步进轴运动组件上的基板平台组件、置于第一龙门机构的对位机构、置于第二龙门机构曝光机构，其特征在于：所述第一龙门机构和第二龙门机构将所述底座分为上板区、对位区、曝光区和下板区，所述上板区位于所述第一龙门机构前，所述对位区位于所述第一龙门机构下方，所述曝光区位于所述第二龙门机构下方，所述下板区与所述曝光区重合或部分重合或位于所述第二龙门机构后方，所述步进轴运动组件带动所述基板平台组件依次穿过上述区域。

2.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机，其特征在于：所述曝光机构包括多个曝光镜头，多个所述曝光镜头一次曝光范围覆盖所述基板承载台上的基板。

3.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机，其特征在于：所述步进轴运动组件的数量为两个，平行设置于所述底座。

4.根据权利要求3所述的一种直写式曝光机，其特征在于：分别设置于所述步进轴运动组件的所述基板平台组件包括Z轴运动组件和基板承载台面，所述基板承载台面一上一下的设置。

5.根据权利要求3所述的一种直写式曝光机，其特征在于：分别设置于所述步进轴运动组件的所述基板平台组件包括Z轴运动组件和基板承载台面，所述基板承载台面高度一致并排设置。

6.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机，其特征在于：所述基板平台组件包括Z轴运动组件和基板承载台面，所述Z轴运动组件带动所述基板承载台面上下移动。

7.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机，其特征在于：其包括控制装置，所述控制装置控制所述对位机构、所述曝光机构、所述步进轴运动组件和所述基板平台组件，其根据不同的曝光信息控制各个操作步骤。

8.根据权利要求7所述的一种直写式曝光机，其特征在于：所述控制装置根据各个操作步骤的时间控制所述步进轴运动组件的速度。

9.包含权利要求1-8中任一直写式曝光机的双面曝光直写式曝光机，其特征在于：其包含第一直写式曝光机和第二直写式曝光机，所述第一直写式曝光机和第二直写式曝光机间设有翻板机，翻板机将所述第一直写式曝光机曝光后的基板翻转。

10.根据权利要求9的双面曝光直写式曝光机，其特征在于：所述基板通过移栽机在第一直写式曝光机、翻板机和第二直写式曝光机之间移动，所述移栽机可以是机械手臂或者是传送轮。