[实用新型]一种全自动溅镀装置

权利要求书

1.一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓，其特征在于：所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述溅镀仓内设有溅镀件固定支架，溅镀件固定支架一端安装在旋转电机上，所述旋转电机通过电机固定座安装在溅镀仓内。

2.根据权利要求1所述的一种全自动溅镀装置，其特征在于：所述阴极电极固定支架外侧设有密封绝缘衬垫，密封绝缘衬垫安装在下固定板上。

3.根据权利要求1所述的一种全自动溅镀装置，其特征在于：所述溅镀气体入口上安装有电磁阀，溅镀气体入口通过输送管连接于溅镀气体存储罐，溅镀气体存储罐安装在上固定板上。

4.根据权利要求1所述的一种全自动溅镀装置，其特征在于：所述抽真空排出口连接于抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵安装支架上，所述真空泵安装支架安装在下固定板上。

5.根据权利要求1所述的一种全自动溅镀装置，其特征在于：所述溅镀件固定支架包括左夹紧杆、右夹紧杆，所述左夹紧杆、右夹紧杆交叉设置，所述左夹紧杆、右夹紧杆中部提高旋转销安装固定，所述左夹紧杆、右夹紧杆上端之间设有双头气缸，所述双头气缸的输出轴通过旋转销安装在左夹紧杆、右夹紧杆上端，所述双头气缸的缸体一侧上设有支架固定杆，支架固定杆安装在旋转电机的输出轴上，所述左夹紧杆、右夹紧杆两端外侧设有防刮衬垫，所述防刮衬垫可拆卸的安装在左夹紧杆、右夹紧杆上。

6.根据权利要求5所述的一种全自动溅镀装置，其特征在于：所述防刮衬垫安装在衬垫固定座上，所述左夹紧杆、右夹紧杆两端设有固定孔，衬垫固定座通过固定卡环可拆卸的安装在左夹紧杆、右夹紧杆上。