[实用新型]一种靶材固定装置

说明书

本实用新型涉及一种靶材固定装置，所述绝缘固定装置包括：包括若干绝缘固定块，其中，所述绝缘固定块上设置有若干贯穿于所述绝缘固定块上下表面的第一固定通孔，且每个所述第一固定通孔和靶材冲击位置之间还设置有一防导通凹槽结构。本实用新型提供的靶材固定装置，因为防导通凹槽结构使其避免了靶材溅射过程中薄膜落入固定通孔而导致绝缘性差的问题。

技术领域

本实用新型属于靶材绝缘固定技术领域，具体涉及一种靶材固定装置。

背景技术

在电子信息产业的发展过程中，靶材质量的好坏对薄膜的性能起着至关重要的决定作用，其中，物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，简称PVD)技术是制备电子薄膜材料的主要技术。

物理气相沉积设备通过施加电场产生电势差，使通入的气体分子具有动能，轰击靶材表面，使得靶材原子掉落并附着在溅镀目标表面从而形成致密的薄膜。因此，物理气相沉积设备的靶材是一种耗材，需要定期更换靶材本身以及相关配件。靶材绝缘固定块作为连接机台腔体阴极侧和靶材铜背板的桥梁，需要具有绝缘性和一定的强度。

但是，在绝缘固定块与机台腔体固定中，由于薄膜会落入连接机台腔体的固定通孔内，从而使得绝缘固定块存在绝缘性差的问题。

实用新型内容

为了解决现有技术中的不足，本实用新型提供了一种靶材固定装置。

本实用新型提供了一种靶材固定装置，该靶材固定装置包括：

若干绝缘固定块，其中，

所述绝缘固定块上设置有若干贯穿于所述绝缘固定块上下表面的第一固定通孔，且每个所述第一固定通孔和靶材冲击位置之间还设置有一防导通凹槽结构。

在本实用新型的一个实施例中，所述防导通凹槽结构包括第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述第二部分上方且所述第一部分与所述第二部分相连通，所述第一部分的最大开口宽度小于所述第二部分的最大开口宽度。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一部分为长方体，所述第一部分在所述绝缘固定块的开口长度为所述绝缘固定块上表面第一边的长度，所述第二部分为球体或是椭圆体。

在本实用新型的一个实施例中，所述第一固定通孔包括第一子固定通孔和第二子固定通孔，所述第一子固定通孔和所述第二子固定通孔相连通，且所述第一子固定通孔的通孔尺寸大于所述第二子固定通孔的通孔尺寸。

在本实用新型的一个实施例中，还包括若干绝缘套筒，每个所述绝缘套筒分别设置于所述第一子固定通孔内，所述绝缘套筒中间设置有一通孔，所述绝缘套筒外壁的直径尺寸等于所述第一子固定通孔的直径尺寸，且所述通孔的直径尺寸等于所述第二子固定通孔的直径尺寸。

在本实用新型的一个实施例中，所述绝缘套筒的材质为塑料。

在本实用新型的一个实施例中，所述绝缘固定块还设置有贯穿于所述绝缘固定块上下表面的第二固定通孔。

在本实用新型的一个实施例中，所述第二固定通孔内设置有固定件，所述固定件上设置有一螺纹孔。

在本实用新型的一个实施例中，所述绝缘固定块的材质为金属铝合金，所述绝缘固定块表面覆盖有绝缘膜。

在本实用新型的一个实施例中，所述绝缘膜为阳极膜。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

1、本实用新型提供的靶材固定装置，因为防导通凹槽结构使其避免了靶材溅射过程中薄膜落入固定通孔而导致绝缘性差的问题。

2、本实用新型提供的靶材固定装置，因为防导通凹槽结构减少了零件的清洗频率。