[实用新型]液体透镜和包括多个液体透镜的阵列

说明书

本公开涉及一种液体透镜和包括多个液体透镜的阵列。在一些实施例中，一种图案化绝缘层的方法可包括显影掩模层的第一部分以暴露绝缘层的第一部分。该方法可进一步包括选择性蚀刻绝缘层的第一部分以暴露导电层的一部分，其包括与掩模层的第一部分对应的第一图案。该方法可进一步包括除去掩模层的第二部分以暴露绝缘层的第二部分，其包括与掩模层的第二部分对应的第二图案且表面能低于40mJ/m²。在另一实施例中，一种液体透镜可包括在设置于腔内的极化液体和非极化液体之间形成透镜的界面。该界面可与表面能低于40mJ/m²的绝缘层的表面相交。

本申请要求于2018年5月21日提交的美国临时申请No.62/674,528的优先权，该申请的全部内容作为参考并入本文。

技术领域

本公开内容大致涉及一种液体透镜以及制造和操作液体透镜的方法，更具体地，涉及一种包括导电层和绝缘层的液体透镜以及制造和操作包括导电层和绝缘层的液体透镜的方法。

背景技术

液体透镜通常包括两种不混溶的液体，它们布置在透镜体的腔内。改变液体所受的电场可以改变其中一种液体相对于腔内表面的润湿性，从而改变两种液体之间形成的界面(例如液体透镜)的形状。液体透镜可以发挥作用，因此可作为光学透镜应用于各种场合。

实用新型内容

以下是本公开内容的简化概述，以提供对详细说明中描述的一些实施例的基本理解。

在一些实施例中，一种制造液体透镜的方法可包括：将掩模层施加到绝缘层。导电层可设置在基板和位于基板的孔内的绝缘层之间。该方法可进一步包括将掩模层的第一部分选择性暴露到电磁辐射，而不将掩模层的第二部分暴露到电磁辐射。该方法可进一步包括显影掩模层的第一部分以暴露绝缘层的第一部分。该方法可进一步包括选择性蚀刻绝缘层的第一部分以暴露导电层的一部分，其包括与掩模层的第一部分对应的第一图案。该方法可进一步包括除去掩模层的第二部分以暴露绝缘层的第二部分，其包括与掩模层的第二部分对应的第二图案且表面能低于40mJ/m²。

在一些实施例中，绝缘层的第二部分可包括疏水表面。

在一些实施例中，掩模层可包括光刻胶。

在一些实施例中，绝缘层可包括聚对二甲苯。

在一些实施例中，施加掩模层可包括将光刻胶材料喷射到绝缘层上。

在一些实施例中，蚀刻绝缘层的第一部分以暴露导电层的一部分可包括等离子蚀刻。

在一些实施例中，该方法可包括在由基板的孔至少部分地界定的腔中添加极性液体和非极性液体。极性液体和非极性液体可基本不互溶，使得界定在极性液体和非极性液体之间的界面形成透镜。

在一些实施例中，该方法可包括将第二基板接合至基板以气密密封腔内的极性液体、非极性液体和绝缘层的第二部分。

在一些实施例中，该方法可包括使极性液体和非极性液体经受电场和通过调整极性液体和非极性液体所经受的电场来改变界面的形状。

在一些实施例中，通过该方法制造的液体透镜可包括基板、导电层和绝缘层的第二部分。

在一些实施例中，制造方法可提供包括多个液体透镜的阵列。该方法可包括将掩模层施加到绝缘层。导电层可设置在基板和位于基板的多个孔内的绝缘层之间。该方法可进一步包括将掩模层的多个第一部分选择性暴露到电磁辐射，而不将掩模层的多个第二部分暴露到电磁辐射。该方法可进一步包括显影掩模层的多个第一部分以暴露绝缘层的多个第一部分。该方法可进一步包括选择性蚀刻绝缘层的多个第一部分以暴露导电层的多个部分，其包括与掩模层的多个第一部分对应的第一图案。该方法可进一步包括除去掩模层的多个第二部分以暴露绝缘层的多个第二部分，其包括与掩模层的多个第二部分对应的第二图案且表面能低于40mJ/m²。