[实用新型]一种过滤装置及抽真空系统

权利要求书

1.一种过滤装置，其特征在于，包括罐体、过滤单元和清灰机构，所述清灰机构和所述过滤单元位于所述罐体内，所述过滤单元包括至少一个过滤袋，所述清灰机构包括拍打板，所述拍打板通过转动与至少一个所述过滤袋碰撞。

2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，至少一个所述过滤袋沿所述罐体的高度方向设置，所述拍打板沿所述罐体高度方向的长度至少为所述过滤袋的长度的50％，

所述拍打板材料的弯曲刚度的工况转角θ大小为大于0°，且小于或等于45°。

3.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述拍打板沿垂直于所述罐体高度的方向的宽度，至少覆盖与之对应的所述过滤袋的宽度的30％。

4.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，所述过滤袋为多个，所述拍打板为至少一个，每个所述拍打板的转动范围内均对应设置多个所述过滤袋。

5.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，与所述拍打板对应设置的多个所述过滤袋，相对于所述拍打板等间隔分布。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的过滤装置，其特征在于，所述清灰机构还包括与所述拍打板对应连接的至少一个转动轴，所述转动轴带动与之对应的所述拍打板转动。

7.根据权利要求6所述的过滤装置，其特征在于，所述清灰机构还包括机械连接的链轮和链条，所述链轮与所述转动轴机械连接，所述链条首尾相接、连接于多个所述链轮之间。

8.根据权利要求7所述的过滤装置，其特征在于，所述多个转动轴中，一个所述转动轴位于中心，其余所述转动轴围绕中心的所述转动轴设置，其余所述转动轴相对于位于中心的所述转动轴等角度分布。

9.一种抽真空系统，用于对单晶炉抽真空，其特征在于，包括抽真空装置和权利要求1～8任一所述的过滤装置，所述过滤装置连接于所述单晶炉与所述抽真空装置之间。

10.根据权利要求9所述的抽真空系统，其特征在于，所述抽真空装置为油泵或干泵。