[实用新型]应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置

权利要求书

1.一种应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置，其特征在于，所述应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置包括：

真空镀膜机本体，具有一容置空间，所述真空镀膜机本体用于为所述应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置提供真空镀膜环境；

曲面玻璃基片夹具，设置于所述容置空间，所述曲面玻璃基片夹具用于夹紧定位大面积曲面玻璃；

离子放电源，设置于所述容置空间，所述离子放电源用于在所述大面积曲面玻璃上镀膜；

垂直方向升降台，设置于所述容置空间，所述垂直方向升降台可沿着竖直方向升降，所述离子放电源设置于所述垂直方向升降台上，所述离子放电源通过所述垂直方向升降台的升降而带动其升降；

水平方向运行轨道，设置于所述容置空间，所述垂直方向升降台设置于所述水平方向运行轨道上，并可沿着所述水平方向运行轨道水平移动，所述离子放电源通过所述垂直方向升降台的水平移动而带动其水平移动；以及

可编程运动系统，与所述垂直方向升降台连接，所述可编程运动系统用于控制所述垂直方向升降台的升降及水平移动；

其中，所述可编程运动系统通过控制所述垂直方向升降台的升降及水平移动，而控制所述离子放电源的运动轨迹，所述离子放电源根据所述运动轨迹在所述大面积曲面玻璃上镀膜。

2.根据权利要求1所述的应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置，其特征在于，还包括二个伺服电机，与所述可编程运动系统及所述垂直方向升降台连接，所述可编程运动系统通过控制所述其中一个伺服电机，控制所述垂直方向升降台升降，所述可编程运动系统通过控制所述另一个伺服电机，控制所述垂直方向升降台沿着所述水平方向运行轨道水平移动。

3.根据权利要求1所述的应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置，其特征在于，所述真空镀膜机本体还包括：

机体，具有一所述容置空间；

抽真空装置，与所述机体连接，所述抽真空装置用于所述容置空间的抽真空；以及

真空阀门，设置于所述机体上，所述真空阀门用于释放所述容置空间内的真空压力。

4.根据权利要求3所述的应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置，其特征在于，所述抽真空装置为真空泵。

5.根据权利要求1所述的应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置，其特征在于，所述曲面玻璃基片夹具还包括二个定位滑块，对应设置于所述真空镀膜机本体上，所述二个定位滑块通过夹紧定位所述大面积曲面玻璃的宽度方向的两侧而夹紧定位所述大面积曲面玻璃。

6.根据权利要求1所述的应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置，其特征在于，所述离子放电源的放电方式为直流放电、射频放电、高频放电和中频放电中的一种或多种混合放电。

7.根据权利要求1所述的应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置，其特征在于，所述离子放电源设置于所述曲面玻璃基片夹具的下方，并位于所述大面积曲面玻璃的内弧面侧。

8.根据权利要求1所述的应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置，其特征在于，所述离子放电源的放电宽度大于等于所述大面积曲面玻璃的宽度。

9.根据权利要求1所述的应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置，其特征在于，所述水平方向运行轨道为一滑轨，所述滑轨沿着所述大面积曲面玻璃的长度方向设置。

10.根据权利要求1所述的应用于大面积曲面玻璃的镀膜装置，其特征在于，所述运动轨迹与所述大面积曲面玻璃的曲率相对应。