[实用新型]一种无缝钢管用退火炉运料装置

说明书

本实用新型公开了一种无缝钢管用退火炉运料装置，包括退火炉，所述退火炉的侧壁上焊接连接有第一支撑板，所述第一支撑板的上表面通过螺栓固定安装有两组第一伺服电机，本实用新型四组第一螺纹套的上表面焊接连接有第二支撑板，把无缝钢管放在第二支撑板上，第一伺服输出轴的转动，带动第二支撑板进入到退火炉的内腔中，待无缝钢管被加工好之后，第一伺服电机输出轴的反转，实现第二支撑板离开退火炉的内腔，即可把加工好的无缝钢管取出，有效的防止操作员被烫伤；第二伺服电机输出轴的转动带动密闭门的上升或下降，即实现退火炉入口的封闭或打开，防止大量的热量从退火炉内流出的同时，也能实现密闭门的自动打开或关闭。

技术领域

本实用新型属于退火炉运料设备技术领域，具体涉及一种无缝钢管用退火炉运料装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

目前在把无缝钢管放入退火炉时，操作员常常由于自身操作不当导致手臂被烫伤，不能保证操作员的身体安全；而且退火炉的密闭门关闭起来过于复杂，大大的降低了工作效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种无缝钢管用退火炉运料装置，以解决目前在把无缝钢管放入退火炉时，操作员常常由于自身操作不当导致手臂被烫伤，不能保证操作员的身体安全；而且退火炉的密闭门关闭起来过于复杂，大大的降低了工作效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种无缝钢管用退火炉运料装置，包括退火炉，所述退火炉的侧壁上焊接连接有第一支撑板，所述第一支撑板的上表面通过螺栓固定安装有两组第一伺服电机，两组所述第一伺服电机的输出轴上通过联轴器固定安装有两组第一螺纹杆，所述退火炉的内腔焊接有两组第一轴承座和两组滑杆，两组所述第一螺纹杆的末端与两组第一轴承座的内环焊接连接在一起，两组所述第一螺纹杆上螺纹连接有四组第一螺纹套，两组所述滑杆上滑动连接有四组滑套，所述滑套和第一螺纹套之间焊接连接有连接杆，四组所述第一螺纹套的上表面焊接连接有第二支撑板，所述退火炉的上表面焊接连接有第一支撑柱和第一斜杆，所述第一斜杆的自由端端部焊接连接在第一支撑柱上，所述第一支撑柱的上表面焊接连接有第三支撑板，所述第三支撑板的上表面通过螺栓固定安装有两组第二伺服电机，所述第一支撑柱和退火炉上开设有两组凹槽，两组所述凹槽的底端固定安装有两组第二轴承座，两组所述第二伺服电机的输出轴通过联轴器固定安装有两组第二螺纹杆，两组所述第二螺纹杆的末端与两组第二轴承座的内环焊接连接在一起，两组所述第二螺纹杆上螺纹连接有四组第二螺纹套，四组所述第二螺纹套的侧壁上焊接连接有密闭门。

优选的，所述退火炉的下表面通过螺栓固定安装有四组第二支撑柱，四组所述第二支撑柱设置在退火炉下表面的四角。

优选的，所述第二支撑柱的下表面通过螺栓固定安装有自锁万向轮，所述第二支撑柱的下表面设置在自锁万向轮上表面的中部。

优选的，所述密闭门上设置有视镜，所述视镜为矩形结构。

优选的，所述退火炉的侧壁上焊接连接有第二斜杆，所述第二斜杆的自由端端部焊接连接在第一支撑板的下表面。

优选的，所述退火炉的侧壁上焊接连接有两组把手，两组所述把手相对称设置。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：