[实用新型]一种晶片清洗固定装置有效
申请号: | 201920752037.8 | 申请日: | 2019-05-23 |
公开(公告)号: | CN209804611U | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 唐伟;李辉;宋嵩 | 申请(专利权)人: | 成都泰美克晶体技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 51218 成都金英专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 詹权松 |
地址: | 610000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 隔片 清洗 侧板 本实用新型 上层活动 石英晶片 下层 不良现象 固定装置 晶片接触 质量减少 高效率 象限点 晶片 两层 压紧 种晶 | ||
本实用新型公开了一种晶片清洗固定装置,包括两个侧板(1)、多个隔片轴(2)和多个保护轴(3),所述多个保护轴(3)包括上层活动保护轴和下层固定保护轴,下层固定保护轴和多个隔片轴(2)连接于两个侧板(1)之间,上层活动保护轴插入侧板(1)上设置的孔内,用于压紧晶片(4);所述多个隔片轴(2)位于两层保护轴(3)之间,相邻两个隔片轴(2)与上下两个保护轴(3)形成一个圆的四个象限点与晶片接触固定。本实用新型通过隔片轴(2)与保护轴(3)对待清洗石英晶片进行固定,能对石英晶片进行高效率的批量清洗,增加了效率的同时也提高了清洗质量减少了不良现象。
技术领域
本实用新型涉及石英晶片加工领域,尤其涉及一种晶片固定清洗装置。
背景技术
目前我国的石英晶片清洗主要靠作业人员结合自身工作经验,使用简单的操作对石英晶片清洗,每次清洗石英晶片数量非常有限且混乱,从而导致晶片之间相互碰撞,且无法清洗洁净,造不良率增加,需要一种石英晶片清洗固定装置,用于提高晶片清洗的效率和质量。
实用新型内容
本实用新型的目的在于,针对上述问题,提出一种晶片固定清洗装置。
一种晶片清洗固定装置,其特征在于,包括两个侧板、多个隔片轴和多个保护轴,所述多个保护轴包括上层活动保护轴和下层固定保护轴,下层固定保护轴和多个隔片轴连接于两个侧板之间,上层活动保护轴插入侧板上设置的孔内,用于压紧晶片;所述多个隔片轴位于两层保护轴之间,隔片轴与保护轴交错排布,相邻两个隔片轴与上下两个保护轴形成一个圆的四个象限点与晶片接触固定。
进一步的,多个下层固定保护轴和多个隔片轴通过螺钉与侧板连接。
进一步的,隔片轴沿径向设有多个均匀分布的V型槽口,用于放置晶片。
进一步的,两个侧板上侧设置有凸起,并通过轴连接,便于提放。
本实用新型的有益效果:通过隔片轴与保护轴对待清洗石英晶片进行固定,能对石英晶片进行高效率的批量清洗,增加了效率的同时也提高了清洗质量减少了不良现象。
附图说明
图1是一种晶片清洗固定装置结构示意图;
图中:1-侧板,2-隔片轴,3-保护轴,4-晶片。
具体实施方式
为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解,现对照附图说明本实用新型的具体实施方式。
本实施例中,一种晶片清洗固定装置,包括两个侧板1、10个隔片轴2和18个保护轴3,所述保护轴3包括9个上层活动保护轴和9个下层固定保护轴,下层固定保护轴和9个隔片轴2连接于两个侧板1之间,每个上层活动保护轴插入侧板1上设置的孔内,通过轴上设置的台阶面对上层活动保护轴进行限位,用于压紧晶片4;所述9个隔片轴2位于两层保护轴3之间,隔片轴2与保护轴3交错排布,相邻两个隔片轴2与上下两个保护轴3形成一个圆的四个象限点与晶片接触固定。
每个下层固定保护轴和隔片轴2通过螺钉与侧板1连接。
每个隔片轴2沿径向设有多个均匀分布的V型槽口,用于放置多个晶片4,对石英晶片进行批量清洗。
两个侧板1上侧设置有凸起,并通过轴连接,便于人工提放安装。
两个侧板1设置有多个均匀分布的孔,用于实现隔片轴、下层固定保护轴的固定和上层活动保护轴的插入。
本实用新型通过隔片轴2与保护轴3对待清洗石英晶片进行固定,能对石英晶片进行高效率的批量清洗,增加了效率的同时也提高了清洗质量减少了不良现象。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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