[实用新型]一种石英砣料沉积面可自动稳定控制的沉积装置

权利要求书

1.一种石英砣料沉积面可自动稳定控制的沉积装置，包括沉积炉和打砣机，所述沉积炉上设置观察孔，其特征在于：所述观察孔所在平面对应的沉积炉侧壁上相对安装激光发生器和激光接收器；装置还包括控制器和显示器，所述控制器与激光发生器和激光接收器进行通讯并控制沉积炉的原料进料量和打砣机的移动速度，所述显示器接受控制器的信号并显示沉积炉内状态。

2.根据权利要求1所述的一种石英砣料沉积面可自动稳定控制的沉积装置，其特征在于：所述沉积炉的进料管上设有电磁阀，所述控制器包括电磁阀控制模块、数据处理模块以及打砣机控制模块，所述数据处理模块接收激光发射器与激光接收器发送的信号，经处理分析后，分别发送控制信号至电磁阀控制模块和打砣机控制模块，由电磁阀控制模块和打砣机控制模块分别控制电磁阀的开度、打砣机的移动速度。