[实用新型]一种用于蒸镀机的坩埚

说明书

本实用新型公开了一种用于蒸镀机的坩埚，包括坩埚，坩埚的外侧壁上包裹着坩埚加热罩，坩埚加热罩包括至少两个坩埚加热区，每一个坩埚加热区上设置有一组坩埚加热装置；本实用新型通过在坩埚加热罩上设置有至少两个坩埚加热区，每一个坩埚加热区上设置有一组坩埚加热装置，与坩埚加热装置连接的外部控制机构能根据各区的设定温度，控制坩埚加热装置，实时调整坩埚上各区的加热温度，使蒸镀过程中坩埚的整体镀率能够更加均匀，保证有机膜成膜的均匀性。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀领域，特别涉及一种用于蒸镀机的坩埚。

背景技术

AMOLED目前较为成熟的制备工艺是有机真空蒸镀工艺，真空蒸镀工艺中一个较为重要的部件为坩埚和坩埚加热罩，目前材料利用率较高的坩埚为线源坩埚，其主要是通过在加热罩四周缠绕电热丝，通过热辐射对坩埚进行加热，使坩埚内的有机材料融化并蒸发，并通过对电热丝进行功率控制，使坩埚能够长时间维持同一温度进行蒸镀，以保证镀率的稳定性，进而控制成膜均匀性；另对坩埚盖温度进行控制，防止有机蒸汽因温度差而结晶，堵塞坩埚喷嘴，造成坩埚镀率不均匀，以确保成膜品质。

目前的坩埚的温控大部分采用输入所需温度后，由电脑进行功率输入控制，并且保持输入功率，但当部分区域温度有变化时，无法进行动态调整，由此可能造成局部镀率不均匀，影响成膜均匀性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种用于蒸镀机的坩埚，能够动态调整坩埚内的温度，使蒸镀过程中坩埚的整体镀率能够更加均匀。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：

一种用于蒸镀机的坩埚，包括坩埚，所述坩埚的外侧壁上包裹着坩埚加热罩，所述坩埚加热罩包括至少两个坩埚加热区，每一个所述坩埚加热区上设置有一组坩埚加热装置。

进一步地，所述坩埚加热装置包括坩埚电热丝和坩埚温控器，所述坩埚电热丝缠绕在所述坩埚加热罩上，每一组所述坩埚电热丝连接一个坩埚温控器。

进一步地，所述坩埚加热罩包括位于中间的第一加热区以及分别位于所述第一加热区两侧的第二加热区和第三加热区。

进一步地，还包括盖在所述坩埚上的坩埚盖，所述坩埚盖的外侧壁上包裹着坩埚盖加热罩，所述坩埚盖加热罩包括至少两个坩埚盖加热区，每一个所述坩埚盖加热区上缠绕有一组坩埚盖电热丝，每一组所述坩埚盖电热丝连接一个坩埚盖温控器。

进一步地，还包括设置在所述坩埚盖上且凸出所述坩埚盖加热罩的喷嘴，所述喷嘴上设置有喷嘴加热装置。

进一步地，所述喷嘴加热装置包括设置在所述喷嘴上的喷嘴加热板，所述喷嘴加热板在靠近所述喷嘴的一侧上固定有喷嘴电热丝，所述喷嘴电热丝连接有喷嘴温控器。

进一步地，与每一个所述坩埚盖加热区位于同侧的所有所述喷嘴共用一组喷嘴加热装置，位于同侧的所述坩埚盖电热丝与所述喷嘴电热丝连接，位于同侧的所述喷嘴温控器与坩埚盖温控器共用一个温控器。

进一步地，所述喷嘴加热板的高度低于所述喷嘴的高度。

进一步地，所述喷嘴加热板包括分别位于所述喷嘴不同侧的前侧加热板、侧边加热板以及后侧加热板，所述侧边加热板的一侧与所述前侧加热板连接，另一侧与所述后侧加热板连接。

进一步地，所述坩埚盖加热罩包括三个坩埚盖加热区，在每一个坩埚盖加热区上设置有两个喷嘴。

本实用新型的有益效果在于：一种用于蒸镀机的坩埚，在坩埚加热罩上设置有至少两个坩埚加热区，每一个坩埚加热区上设置有一组坩埚加热装置，与坩埚加热装置连接的外部控制机构能根据各区的设定温度，控制坩埚加热装置，实时调整坩埚上各区的加热温度，使蒸镀过程中坩埚的整体镀率能够更加均匀，保证有机膜成膜的均匀性。

附图说明