[实用新型]一种靶材生产用真空熔炼炉

说明书

一种靶材生产用真空熔炼炉，它涉及熔炼炉技术领域。它包含支撑台、熔炼腔、控制面板、除尘板、电磁除尘器、进料口、电机、转轴、抽入管、真空泵、排出管、压强传感器、过筛树脂芯、加热板、减压通孔、转杆、电磁线圈、降温板、导流管、分流凸块、传输管、石墨烯制冷液以及导热沙，所述支撑台顶端的中心位置处焊接有熔炼腔，熔炼腔的内部固定有降温板，降温板的内部安装有石墨烯制冷液。采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：该靶材生产用真空熔炼炉不仅提高了熔炼炉使用时的熔炼效果，延长了熔炼炉真空条件下的使用寿命，而且提高了熔炼炉使用时的工作效率。

技术领域

本实用新型涉及熔炼炉技术领域，具体涉及一种靶材生产用真空熔炼炉。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应，众所周知，靶材材料的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化，近段时间致力于低电阻率铜布线的开发，预计未来几年将大幅度取代原来的铝膜，这样铜靶及其所需阻挡层靶材的开发将刻不容缓，其中靶材生产用真空熔炼炉的应用必不可少。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种靶材生产用真空熔炼炉，老化速度慢，操作简单，使用时效率较高且效果较好，在同行领域中性能优越且推广性强。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案是：它包含支撑台、熔炼腔、控制面板、除尘板、电磁除尘器、进料口、电机、转轴、抽入管、真空泵、排出管、压强传感器、过筛树脂芯、加热板、减压通孔、转杆、电磁线圈、降温板、导流管、分流凸块、传输管、石墨烯制冷液以及导热沙，所述支撑台顶端的中心位置处焊接有熔炼腔，熔炼腔的内部固定有降温板，降温板的内部安装有石墨烯制冷液，且石墨烯制冷液的两端皆延伸至熔炼腔的外部，熔炼腔内部的中心位置处铰接有转杆，转杆的一端延伸至熔炼腔的外部，转杆内部的一端安装有导流管，且导流管的一端延伸至熔炼腔的外部，转杆两端的表面固定有得到能够间接的加热板，熔炼腔内部的两侧皆固定有除尘板，除尘板表面的一侧设置有等间距的电磁除尘器，熔炼腔内部的底端固定有电磁线圈，熔炼腔内部的一端安装有进料口，且进料口的一端延伸至支撑台的外部，熔炼腔顶端的中心位置处安装有电机，电机的输出端通过联轴器安装有转轴，且转轴远离电机的一端与转杆的一端固定连接，熔炼腔顶端的一侧安装有真空泵，真空泵的输入端安装有抽入管，且抽入管的一端延伸至熔炼腔的内部，熔炼腔表面的一侧安装有压强传感器，熔炼腔表面的一侧固定有控制面板，且控制面板内部单片机的输入端与压强传感器的输出端电性连接，控制面板内部单片机的输出端分别与电磁除尘器、电机、真空泵以及加热板的输入端电性连接。

所述除尘板内部的中心位置处安装有过筛树脂芯。

所述真空泵的输出端固定有排出管。

所述加热板的表面安装有等间距的减压通孔。

所述导流管一端的转杆内部设置有传输管。

所述传输管内部的中心位置处安装有分流凸块。

所述石墨烯制冷液两侧的降温板内部皆填充有导热沙。

采用上述技术方案后，本实用新型有益效果为：该靶材生产用真空熔炼炉不仅提高了熔炼炉使用时的熔炼效果，延长了熔炼炉真空条件下的使用寿命，而且提高了熔炼炉使用时的工作效率；

1、通过在熔炼腔内部的中心位置处铰接转杆，转杆内部的一端安装导流管，导流管一端的转杆内部设置传输管，传输管内部的中心位置处安装分流凸块，实现了熔炼炉的进料分流功能，从而提高了熔炼炉使用时的熔炼效果；