[实用新型]降低进光量装置

说明书

本实用新型提供了一种降低进光量装置，包括：支架，安装于InGaAs机台上；用于遮蔽于所述InGaAs机台的进光通道的遮光板，所述遮光板可绕所述进光通道的轴线转动地安装于所述支架上，所述遮光板形成有透光缺口；以及驱动电机，安装于所述支架上，所述驱动电机传动连接于所述遮光板。本实用新型解决了在采用传统InGaAs机台定位芯片的异常位置时，由于芯片电流过大导致芯片亮点范围过大进而使得InGaAs机台难以准确定位的问题。

技术领域

本实用新型涉及铟砷化镓芯片检测技术领域，具体涉及一种降低进光量装置。

背景技术

一般在进行铟砷化镓(InGaAs)定位时，InGaAs机台会采集IC样品内部PN结(PNjunction，将P型半导体与N型半导体制作在同一块半导体基片上，在它们的交界面就形成空间电荷区称为PN结)导通所产生的光子，因InGaAs记录下的亮点强弱取决于单位区域内光子数量的积分量，如若电流过大会导致亮点范围过大，从而难以精确定位。

实用新型内容

为克服现有技术所存在的缺陷，现提供一种降低进光量装置，以解决在采用传统InGaAs机台定位芯片的异常位置时，由于芯片电流过大导致芯片亮点范围过大进而使得InGaAs机台难以准确定位的问题。

为实现上述目的，提供一种降低进光量装置，包括：

支架，安装于InGaAs机台上；

用于遮蔽于所述InGaAs机台的进光通道的遮光板，所述遮光板可转动地安装于所述支架上，所述遮光板形成有透光缺口，所述透光缺口的转动轨迹与所述进光通道交汇；以及

驱动电机，安装于所述支架上，所述驱动电机传动连接于所述遮光板。

进一步的，所述支架包括：

底板，所述底板形成有对准所述进光通道的孔洞；

支撑套管，包括设置于所述进光通道外的第一管段、沿所述进光通道的长度方向设置于所述进光通道内的第二管段、连接于所述第一管段和第二管段之间的第三管段，所述驱动电机安装于所述第一管段，所述遮光板可绕所述进光通道的轴线转动地安装于所述第二管段的远离所述第三管段的一端。

进一步的，所述驱动电机通过齿轮传动机构传动连接于所述遮光板，所述第一管段的侧壁上开设有驱动孔，所述驱动电机的输出端经由所述驱动孔伸至所述第一管段中，所述驱动的输出端设有第一锥齿轮，所述齿轮传动机构包括：

第一轴，可转动地安装于所述第一管段内，所述第一轴的两端分别设有第二锥齿轮，所述第一轴的第一端的第二锥齿轮啮合于所述第一锥齿轮；

第二轴，可转动地安装于所述第三管段内，所述第二轴的两端分别设有第三锥齿轮，所述第二轴的第一端的第三锥齿轮啮合于所述第一轴的第二端的第二锥齿轮；以及

第三轴，可转动地安装于所述第二管段中，所述第三轴的第一端连接于所述遮光板，所述第三轴的第二端设有第四锥齿轮，所述第四锥齿轮啮合于所述第二轴的第二端的第三锥齿轮。

进一步的，所述第一轴套设有第一轴承中，所述第一轴承嵌设于所述第一管段内。

进一步的，所述第三轴的第一端可拆卸地连接于所述遮光板。

进一步的，所述第三轴沿所述进光通道的轴向方向设置。

进一步的，所述遮光板连接有螺纹插杆，所述第三轴的第一端的端面上形成有螺纹孔，所述螺纹插杆螺合于所述螺纹孔。

进一步的，所述遮光板呈圆形。

进一步的，所述透光缺口呈扇形。

进一步的，所述遮光板为黑色遮光板。