[实用新型]一种磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构

权利要求书

1.一种磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构，其特征在于，包括：

滑动套管，可滑动穿过镀膜机的壁板上的穿孔；靶体固定安装在所述滑动套管的里端；

动密封组件，安装在穿孔处，实现动密封；

直线运动机构，安装在镀膜机的壁板外侧，与所述滑动套管对应，直线运动方向与所述滑动套管的滑动方向平行；

连接板，连接所述滑动套管的外端和所述直线运动机构的活动端；所述直线运动机构通过所述连接板带动所述滑动套管作伸缩运动。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构，其特征在于：所述动密封组件包括密封固定管、隔套、密封压盖和两个骨架油封，所述密封固定管对应所述穿孔固定在镀膜机的壁板的外表面，所述滑动套管穿过所述密封固定管的中孔，两个骨架油封及隔套套于所述滑动套管上，并位于所述密封固定管的中孔内，所述隔套设置在两个所述骨架油封之间，所述密封压盖为环形，套在所述滑动套管上，并密封盖在所述密封固定管的中孔的外端口处，压紧两个骨架油封和隔套。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构，其特征在于：所述靶体伸缩机构还包括导柱组件，所述导柱组件包括导柱固定座、导柱和导向管，所述导柱固定座固定在镀膜机的壁板的外表面，所述导向管对应固定安装在所述连接板上，所述导柱的一端固定在所述导柱固定座上，另一端滑动穿过导向管。

4.根据权利要求3所述的磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构，其特征在于：所述靶体伸缩机构包括两条所述滑动套管、两组所述动密封组件和两组导柱组件，两条所述滑动套管左右对应设置，两组所述导柱组件左右对应设置，两组所述动密封组件分别设置在两条所述滑动套管上。

5.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构，其特征在于：所述直线运动机构为气缸，所述气缸的活塞杆通过浮动接头与所述连接板连接。

6.根据权利要求1所述的磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构，其特征在于：所述滑动套管内设置有出液管和进液管，所述出液管和进液管的里端分别与靶体的冷却通道的液体出口和液体进口连接，所述出液管和进液管的外端分别从滑动套管的外端穿出。

7.根据权利要求6所述的磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构，其特征在于：在所述出液管和进液管的端部与所述滑动套管接触的部位均套有液管绝缘套。

8.根据权利要求7所述的磁控溅射镀膜机中的靶体伸缩机构，其特征在于：在所述滑动套管的外端口处固定盖有保护盖，在所述保护盖内紧贴其内壁设有绝缘护套，在所述出液管和进液管的外端分别通过管连接头连接弯头水嘴，所述弯头水嘴位于保护盖内，所述弯头水嘴的连接端从所述保护盖的侧面穿出至外部。