[实用新型]游轮盘

说明书

本实用新型涉及一种游轮盘，属于晶片加工技术领域。包括游轮盘本体，所述游轮盘本体包括游轮型腔和设于游轮型腔外侧的齿圈，其特征在于：所述齿圈由多层碳纤维层构成。本实用新型采用耐磨的多层碳纤维层构成的齿圈结构提高了游轮盘的使用寿命和强度，不仅能降低成本，还能提高工件的可靠性，从而提高晶片加工质量和精度。

技术领域

本实用新型涉及晶片加工技术领域，具体涉及一种游轮盘。

背景技术

在晶片加工过程中，对晶片的厚度加工（研磨、抛光）成了一道必不可少的工序，研磨抛光设备采用游轮盘将待加工的晶片放在游轮盘的型腔内，在游轮盘外圈设有齿圈，齿圈齿轮与研磨抛光设备的下盘壁上的齿圈齿轮啮合，下磨盘通过齿圈带动游轮盘转动，从而带动放置于游轮盘型腔内的晶片运转，在研磨抛光设备上通过机械上下盘面的压力，使晶片在研磨盘面中不断挤压并磨损，最终产生形变而达到厚度要求。现有技术的游轮盘一般采用普通树脂材料或弹簧钢一体制成，在齿圈啮合的过程中，游轮盘外圈的齿圈齿轮由于受力容易变形、磨损，影响游轮盘的转动从而影响晶片的加工质量和精度，造成晶片加工的稳定性不高，因此需要经常更换，导致加工成本增加。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种结构简单、可靠性高、降低加工成本，用于晶片研磨抛光用的游轮盘。

按照本实用新型提供的技术方案，所述游轮盘，包括游轮盘本体，所述游轮盘本体包括游轮型腔和设于游轮型腔外侧的齿圈，其特征在于：所述齿圈由多层碳纤维层构成。

进一步地，所述齿圈的多层碳纤维层通过环氧树脂结合剂粘合。

进一步地，所述游轮型腔内设的通孔为圆形、三角形、正方形或六角形。

进一步地，所述游轮型腔内设的通孔沿圆周均匀分布。

进一步地，所述游轮型腔可拆卸式的安装在齿圈内侧并且所述游轮型腔与所述齿圈联动。

进一步地，所述游轮型腔通过卡扣与所述齿圈连接。

本实用新型的有益效果：采用耐磨的多层碳纤维层构成的齿圈结构提高了游轮盘的使用寿命和强度，不仅能降低成本，还能提高工件的可靠性，从而提高晶片加工质量和精度。本实用新型结构简单、操作方便，通过分体式结构设计能快速对不同规格、形状的游轮盘进行快速取放，提高加工效率。

附图说明

图1为本实用新型所述游轮盘的结构示意图。

附图标记说明：1-游轮型腔、2-齿圈、3-通孔。

具体实施方式

下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。

如图1所示，本实用新型一种游轮盘包括游轮盘本体，所述游轮盘本体包括游轮型腔1和设于游轮型腔外侧的齿圈2，所述齿圈2是由环氧树脂结合剂粘合粘合的多层碳纤维层。本实用新型齿圈采用耐磨的多层碳纤维层构成，能提高游轮盘整体的使用寿命，降低成本，本实用新型结构游轮盘是采用普通树脂材料游轮盘寿命的20倍、是采用弹簧钢材料游轮盘寿命的5~10倍。而且，采用本实用新型结构还能提高游轮盘整体的使用强度，使晶片加工的可靠性高，提高加工质量和精度。

所述游轮型腔内设的通孔3为圆形、三角形、正方形或六角形。所述通孔3沿圆周均匀分布。

所述游轮型腔1可拆卸式的安装在齿圈2内侧并且所述游轮型腔1通过卡扣与所述齿圈2连接。传统的一体式游轮盘在加工不同规格、形状的晶片时，需要频繁取放游轮盘，而加工后的游轮盘齿圈齿轮与下盘壁上的齿圈齿轮啮合镶嵌紧配，取放游轮盘比较费时费力，本实用新型游轮型腔与齿圈设计为分体式结构，放置晶片的游轮型腔可以方便与齿圈脱离，可以对待加工的不同规格、形状的晶片进行取放，操作简单、节省作业时间，从而提高加工效率。