[实用新型]一种抛光液冷却装置

说明书

本实用新型涉及一种抛光液冷却装置，属于半导体材料抛光技术领域。其包括供液桶、水冷箱、水泵，供液桶的桶壁是由内壁、中间壁和外壁构成的三层结构，三层结构的内壁形成储液腔，三层结构的内壁和中间壁之间形成出液腔，三层结构的中间壁和外壁之间形成冷却腔，在出液腔的内壁上开设有一个或多个出液孔，在出液腔顶部设有出液管，入水管接头通过管道与水泵出液口相接，水泵入液口通过管道与水冷箱出水口相接，出水管接头通过管道与水冷箱入水口相接。本实用新型通过设置三层结构桶壁，将抛光液冷却装置分为储液腔、出液腔和冷却腔三个腔室，使得抛光液冷却装置能对待使用的抛光液快速降温后循环利用，结构简单、冷却效果好、实用性强。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料抛光技术领域，具体涉及一种抛光液冷却装置。

背景技术

抛光设备尤其是化学机械抛光设备是一种精密加工设备，其抛光过程所需的相对运动由抛光头和抛光盘之间的相对运动而产生。待抛光工件放在抛光头内，抛光垫粘贴在抛光盘表面，通过抛光头对工件施加一定压力，使工件压于抛光垫表面，依靠工件和抛光垫之间的相对运动，并借助于抛光液中的磨粒实现对工件表面的精加工。

抛光过程中，由于工件与抛光垫之间的摩擦及抛光液中磨粒的微观切削作用，将会产生大量的热，使抛光液温度升高，故在抛光液的循环使用中，若不对其进行降温处理将会加速化学机械抛光过程中的化学作用，从而造成化学作用与机械去除作用失衡，会使表面加工质量受到很大影响。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种抛光液冷却装置，该装置能对待使用的抛光液快速降温后循环利用，结构简单、冷却效果好、实用性强。

按照本实用新型提供的技术方案，所述一种抛光液冷却装置，包括供液桶、水冷箱、水泵，其特征是：所述供液桶的桶壁是由内壁、中间壁和外壁构成的三层结构，三层结构的内壁形成储液腔，三层结构的内壁和中间壁之间形成出液腔，三层结构的中间壁和外壁之间形成冷却腔，在所述出液腔的内壁上开设有一个或多个出液孔，在所述出液腔顶面设有出液管，在所述冷却腔外壁上设有入水管接头和出水管接头，所述入水管接头通过管道与水泵出液口相接，所述水泵入液口通过管道与所述水冷箱出水口相接，所述出水管接头通过管道与所述水冷箱入水口相接。

进一步地，所述出液孔在所述内壁下侧沿周向均匀设置。

进一步地，在所述储液腔的内壁上侧设有液位传感器，所述液位传感器连接有报警器。

进一步地，所述出液孔处设有滤网。在所述入水管接头与所述水泵出液口相接的管道上设有压力传感器。所述出液管上设有温度传感器。

本实用新型结构通过设置三层结构桶壁，将抛光液冷却装置分为储蓄抛光液的储液腔、用于出液的出液腔和用于冷却的冷却腔这三个腔室，使得抛光液冷却装置能对待使用的抛光液快速降温后循环利用，结构简单、实用性强，能节约资源、降低成本。

附图说明

图1为本实用新型所述一种抛光液冷却装置的结构示意图。

附图标记说明：1-供液桶、2-水冷箱、3-水泵、4-内壁、5-中间壁、6-外壁、7-储液腔、8-出液腔、9-冷却腔、10-出液孔、11-出液管、12-入水管接头、13-出水管接头、14-液位传感器、15-压力传感器、16-温度传感器、17-回流管。

具体实施方式

下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。