[实用新型]一种无焊疤式电极

说明书

本实用新型公开一种无焊疤式电极，安装固定在真空容器的内部，其包括电极主体，电极主体的一端具有第一延伸部和第二延伸部，第一延伸部上设有外露于真空容器的电极冷却水进口，第二延伸部上设有外露于真空容器的电极冷却水出口，电极主体内具有容纳腔室，容纳腔室还设有多个间隔设置的离子穿透槽，相邻的两个离子穿透槽之间设有水道，离子穿透槽上方设有第一内部流道，离子穿透槽上方设有第二内部流道，容纳腔室内壁上方间隔设置第一堵头，容纳腔室内壁下方间隔设置有第二堵头。本实用新型可以延长电极的使用寿命，增加设备生产能力，并且采用无焊缝技术将电极一体成型制成，表面不存在焊缝，方便清洁，降低生产成本，密封性好，产品合格率高。

【技术领域】

本实用新型涉及无焊缝电极技术领域，具体的，涉及一种无焊疤式电极。

【背景技术】

由于等离子体的电子密度大小与放电功率有关，在提高放电功率提高电子密度的同时也会导致发热量的增大，尤其在低气压下，由于空气稀薄，热传导过程大大降低，内置电极只能通过辐射的方式向外散热，热量的积累将会使内置电极的温度迅速升高，内置电极温度过高导致等离子体产生系统不稳定。

为了解决这个问题，通常通过更换内部电极，将内部电极更换为冷却电极，以降低内部电极的温度。但是，现有的冷却电极冷却效果差，不利于冷却水在电极处循环流动。

并且，目前市面上的等离子电极都采用金属拼接然后进行焊接的工艺，该焊接型电极存在以下几点缺陷：表面存在较多的焊疤，其焊疤会影响电极的放电均匀性，从而导致生产出来的产品不合格率增大；在焊接时会产生高温导致金属材料发生一个形变，焊接后的电极精度较差，使在生产过程中容易碰撞到产品；焊接时受空气中的细小粉尘，和一些其它气体的影响，焊疤里会存在诸多的杂质，型材蜂窝状的气孔；在生产过程中与工艺气体中的腐蚀气体接触后，表面被腐蚀露出气孔导致电极泄露，最终使生产的产品报废。

【实用新型内容】

本实用新型的主要目的是提供一种外形美观紧凑、结构稳定、密封性好、产品合格率高、使用寿命长的无焊疤式电极。

为了实现上述的主要目的，本实用新型提供的一种无焊疤式电极，安装固定在真空容器的内部，其包括电极主体，所述电极主体是由多块铝制电极板焊接而成的无焊缝电极主体，所述电极主体靠近于所述真空容器顶部的一端具有沿纵向方向延伸的第一延伸部和第二延伸部，所述第一延伸部上设有外露于所述真空容器的电极冷却水进口，所述第二延伸部上设有外露于所述真空容器的电极冷却水出口；所述电极主体内具有容纳腔室，所述容纳腔室还设有多个间隔设置的离子穿透槽，相邻的两个离子穿透槽之间设有可容纳电极冷却水通过的水道；所述离子穿透槽上方靠近于所述第一延伸部的一侧设有第一内部流道，所述离子穿透槽上方靠近于所述第二延伸部的一侧设有第二内部流道，所述第一内部流道与所述第一延伸部相连通，所述第二内部流道与所述第二延伸部相连通；所述容纳腔室内壁上方间隔设置有预设数量的第一堵头，所述容纳腔室内壁下方间隔设置有预设数量的第二堵头。

更进一步的方案是，所述电极冷却水依次流向所述电极冷却水进口、所述第一延伸部、所述第一内部流道、所述水道、所述第二内部流道、所述第二延伸部、所述电极冷却水出口，其中，所述第一堵头和所述第二堵头用于改变所述电极冷却水的上下水流流动方向。

更进一步的方案是，所述无焊疤式电极还包括电极固定装置，所述电极固定装置位于所述真空容器顶部并与所述第一延伸部、所述第二延伸部固定连接。

更进一步的方案是，所述电极主体外侧还设置有电源连接点。

更进一步的方案是，所述真空容器是由前门板、后门板、多块铝板之间焊接而成的四周密闭的无焊缝箱体。

由此可见，本实用新型提供的无焊疤式电极采用了蛇形循环回路冷却水供应系统，从而可以控制真空容器内部的温度，使冷却水充分、完全地发挥了冷却功效，整体式内循环水冷结构，使电极达到迅速传导热量的作用，延长电极的使用寿命，增加设备生产能力。