[实用新型]一种MEMS扬声器及通信设备有效
| 申请号： | 201920787740.2 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN209627689U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/02 | 分类号： | H04R19/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扬声器 振动结构 喇叭形 薄膜换能器 柔性支撑 通信设备 背离 声压灵敏度 平面振动 一端设置 振动膜层 支撑结构 耦合结构 发射 传统的 膜层 聚拢 聚焦 辐射 申请 | ||
1.一种MEMS扬声器，其特征在于，包括：
薄膜换能器；
设置于所述薄膜换能器表面的耦合结构和支撑结构，所述支撑结构分别位于所述耦合结构的周围，所述支撑结构与所述耦合结构之间具有空腔结构；
位于所述耦合结构和支撑结构背离所述薄膜换能器一侧的振动膜层，所述振动膜层包括柔性支撑和一个喇叭形振动结构；
所述柔性支撑的一端设置于所述支撑结构背离所述薄膜换能器一侧；所述喇叭形振动结构设置于所述耦合结构背离所述薄膜换能器一侧；
所述柔性支撑的另一端与所述喇叭形振动结构远离所述薄膜换能器一侧连接。
2.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述柔性支撑为至少具有竖直平面伸缩自由度的柔性支撑。
3.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述柔性支撑为高分子防水材料柔性支撑；
所述喇叭形振动结构为高分子防水材料喇叭形振动结构。
4.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述喇叭形振动结构包括底面和顶面；
所述底面的直径小于所述顶面的直径；
所述底面设置于所述耦合结构表面，所述底面为封闭面；
所述顶面的外延与所述柔性支撑的一端固定连接，所述顶面为敞开面。
5.根据权利要求1所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述薄膜换能器包括：压电换能器或振动传导膜层和压电换能器构成的组合结构；
在所述组合结构中，所述振动传导膜层用于承载所述耦合结构和两个所述支撑结构，并与所述压电换能器连接，所述压电换能器用于产生振动推动所述耦合结构运动；
所述压电换能器设置于所述振动传导膜层背离所述喇叭形振动结构一侧。
6.根据权利要求5所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述振动传导膜层为氮化硅膜、氧化硅膜和硅膜中的一种膜层，或为氮化硅膜、氧化硅膜和硅膜中的多种膜层的叠加膜层。
7.根据权利要求5所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述压电换能器包括：
基底，所述基底包括相背设置的第一表面和第二表面以及贯穿所述第一表面和第二表面的空心区域；
位于基底第一表面的振动介质膜层；
位于所述振动介质膜层背离所述基底一侧的压电单元；
位于所述基底第二表面的掩膜层。
8.根据权利要求7所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述振动介质膜层包括：
由氧化硅层、硅层、氮化硅层组成的单层或多层介质层。
9.根据权利要求7所述的MEMS扬声器，其特征在于，所述压电单元包括：
位于背离所述基底一侧的底电极；
位于所述底电极背离所述基底一侧的压电层；
位于所述压电层背离所述基底一侧的顶电极。
10.一种通信设备，其特征在于，包括：如权利要求1-9任一项所述的MEMS扬声器。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽奥飞声学科技有限公司，未经安徽奥飞声学科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920787740.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
