[实用新型]一种基于零位校正的微机械MEMS加速度计

权利要求书

1.一种基于零位校正的微机械MEMS加速度计，其特征在于，所述加速度计包括：

基片，基片上设有氧化层，若干个锚点通过氧化层固定在基片上，氧化层上设有敏感器件层，敏感器件层包括：差动电容检测结构、加速度计闭环反馈电极结构、若干个悬臂梁、零位校正结构、敏感质量块、2个止挡结构、2个固定结构；

差动电容检测结构与锚点和敏感质量块连接，用于对加速度信号引起的电容变化进行检测；加速度计闭环反馈电极结构与锚点和敏感质量块连接，用于对加速度信号引起的位移进行平衡，使敏感质量块保持在机械零位；

敏感质量块上设有若干个第一空腔，若干第一空腔关于敏感质量块的中心对称分布，每个第一空腔的中心分别设有一锚点，每个第一空腔内关于第一空腔的中心对称分布有2个悬臂梁，悬臂梁的一端与锚点连接，悬臂梁的另一端与敏感质量块连接；

敏感质量块中部设有第二空腔，零位校正结构位于第二空腔内，零位校正结构包括：上下零位校正电极、2个锚点，上零位校正电极与上锚点和敏感质量块连接，下零位校正电极与下锚点和敏感质量块连接，零位校正结构上半部分与下半部分关于零位校正结构中心对称，零位校正结构用于对敏感质量块进行零位校正；

2个止挡结构和2个固定结构分别关于敏感质量块的中心左右对称，固定结构与锚点连接，止挡结构一端与敏感质量块连接，固定结构用于对止挡结构另一端进行限位保护。

2.根据权利要求1所述的基于零位校正的微机械MEMS加速度计，其特征在于，所述加速度计中的悬臂梁为8个，敏感质量块上设有4个第一空腔，4个第一空腔关于敏感质量块的中心对称分布，每个第一空腔的中心分别设有一锚点，每个第一空腔内关于第一空腔的中心对称分布有2个悬臂梁，悬臂梁的一端与锚点连接，悬臂梁的另一端与敏感质量块连接。

3.根据权利要求1所述的基于零位校正的微机械MEMS加速度计，其特征在于，所述加速度计具体包括：2个止挡结构和2个凹形固定结构，2个止挡结构和2个凹形固定结构分别关于敏感质量块的中心左右对称，凹形固定结构包括：固定块和锚点，固定块与锚点连接，固定块上设有凹槽，止挡结构一端与敏感质量块连接，止挡结构另一端延伸至凹槽内。

4.根据权利要求1所述的基于零位校正的微机械MEMS加速度计，其特征在于，差动电容检测结构包括：

上下两组检测电极，上检测电极包括若干对上检测电容，下检测电极包括若干对下检测电容，每对上检测电容包括：上检测固定梳齿、上检测可动梳齿，上检测固定梳齿一端与锚点连接，上检测可动梳齿一端与敏感质量块连接，上检测可动梳齿另一端向上检测固定梳齿另一端延伸，且上检测固定梳齿与上检测可动梳齿在竖直方向具有重叠部分；每对下检测电容包括：下检测固定梳齿、下检测可动梳齿，下检测固定梳齿一端与锚点连接，下检测可动梳齿一端与敏感质量块连接，下检测可动梳齿另一端向下检测固定梳齿另一端延伸，且下检测固定梳齿与下检测可动梳齿在竖直方向具有重叠部分。

5.根据权利要求1所述的基于零位校正的微机械MEMS加速度计，其特征在于，加速度计闭环反馈电极结构包括：

上、下两组力反馈电极，上力反馈电极包括若干对上力反馈电容，下力反馈电极包括若干对下力反馈电容，上力反馈电容包括：上力反馈固定梳齿、上力反馈可动梳齿；上力反馈固定梳齿一端与锚点连接，上力反馈可动梳齿一端与敏感质量块连接，上力反馈可动梳齿另一端向上力反馈固定梳齿另一端延伸，且上力反馈固定梳齿与上力反馈可动梳齿在竖直方向具有重叠部分；下力反馈固定梳齿一端与锚点连接，下力反馈可动梳齿一端与敏感质量块连接，下力反馈可动梳齿另一端向下力反馈固定梳齿另一端延伸，且下力反馈固定梳齿与下力反馈可动梳齿在竖直方向具有重叠部分。

6.根据权利要求1所述的基于零位校正的微机械MEMS加速度计，其特征在于，零位校正结构包括：

关于X轴对称的两个零位校正模块，零位校正模块包括：锚点、零位校正电极，零位校正电极包括若干对零位校正电容，每对零位校正电容包括：零位校正固定梳齿和零位校正可动梳齿，零位校正固定梳齿一端与锚点连接，零位校正可动梳齿一端与敏感质量块连接，零位校正可动梳齿另一端向零位校正固定梳齿另一端延伸，且零位校正固定梳齿与零位校正可动梳齿在竖直方向具有重叠部分。