[实用新型]一种可防止受到污染的真空镀膜机防尘结构有效

专利信息
申请号: 201920795709.3 申请日: 2019-05-30
公开(公告)号: CN210287514U 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 王金泉;何东孝;王菊姿 申请(专利权)人: 常州市爱华真空设备有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213001 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 可防止 受到 污染 真空镀膜 防尘 结构
【说明书】:

实用新型提供一种可防止受到污染的真空镀膜机防尘结构,包括放料口、密封座、供气阀、干燥箱、出气阀、出气口、密封底板、真空镀膜室、供气管以及干燥剂,镀膜机主体上侧装配有密封座,密封座中侧开设有放料口,镀膜机主体右侧安装有供气管,供气管上侧安装有供气阀,供气管右侧连接有干燥箱,干燥箱内部装配有干燥剂,镀膜机主体内部下侧安装有密封底板,密封底板下侧开设有出气口,出气口右侧安装有出气阀,镀膜机主体内部开设有真空镀膜室,该设计解决了原有真空镀膜机不能够有效防尘的问题,本实用新型结构合理,便于有效防止阻止真空镀膜时外界尘埃进入。

技术领域

本实用新型是一种可防止受到污染的真空镀膜机防尘结构,属于真空镀膜机技术领域。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

在对物件进行真空镀膜时,经常会出现外界尘埃颗粒进入装置,镀膜遭到污染,使真空镀膜不能够有有效进行,现有的设备真空镀膜机不能够有效防尘,现在急需一种可防止受到污染的真空镀膜机防尘结构来解决上述出现的问题。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种可防止受到污染的真空镀膜机防尘结构,以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型结构合理,便于有效防止阻止真空镀膜时外界尘埃进入。

为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种可防止受到污染的真空镀膜机防尘结构,包括镀膜机主体、密封盖、防尘机构以及鼓风机,所述镀膜机主体上侧安装有密封盖,所述镀膜机主体内部设置有防尘机构,所述镀膜机主体右侧安装有鼓风机,所述防尘机构包括放料口、密封座、供气阀、干燥箱、出气阀、出气口、密封底板、真空镀膜室、供气管以及干燥剂,所述镀膜机主体上侧装配有密封座,所述密封座中侧开设有放料口,所述镀膜机主体右侧安装有供气管,所述供气管上侧安装有供气阀,所述供气管右侧连接有干燥箱,所述干燥箱内部装配有干燥剂,所述镀膜机主体内部下侧安装有密封底板,所述密封底板下侧开设有出气口,所述出气口右侧安装有出气阀,所述镀膜机主体内部开设有真空镀膜室。

进一步地,所述密封盖后端面安装有活动绞头,所述密封盖通过活动绞头与密封座相连接。

进一步地,所述密封盖环形侧面装配有橡胶垫,所述密封盖环形侧面与密封座相匹配。

进一步地,所述供气阀下侧装配有球形阀,且球形阀环形侧面与供气管内部相匹配。

进一步地,所述出气口右侧连接有出气管,且出气管穿过密封底板与真空镀膜室相连接。

进一步地,所述鼓风机后侧开设有鼓风口,所述鼓风机通过导线与外界电源相连接。

本实用新型的有益效果:本实用新型的一种可防止受到污染的真空镀膜机防尘结构,因本实用新型添加了放料口、密封座、供气阀、干燥箱、出气阀、出气口、密封底板、真空镀膜室、供气管以及干燥剂,该设计能有效提高真空镀膜机防尘性,解决了原有真空镀膜机不能够有效防尘的问题,提高了本实用新型的高效防尘性。

因密封盖后端面安装有活动绞头,该设计方便打开和关闭密封盖,因密封盖环形侧面装配有橡胶垫,该设计使密封盖在关闭时与外界保持密封,因供气阀下侧装配有球形阀,该设计方便打开和关闭供气管,因出气口右侧连接有出气管,且出气管穿过密封底板与真空镀膜室相连接,该设计使真空镀膜室内部的气体有效排出,本实用新型结构合理,便于有效防止阻止真空镀膜时外界尘埃进入。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本实用新型一种可防止受到污染的真空镀膜机防尘结构的结构示意图;

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州市爱华真空设备有限公司,未经常州市爱华真空设备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201920795709.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top