[实用新型]一种提高钼管靶材密度的工装

说明书

本实用新型公开了一种提高钼管靶材密度的工装，包括一压模机构和一旋锻机构，该旋锻机构设置在该压模机构一侧。该压模机构中设置有上下相对的上模本体和下模本体；该旋锻机构横向夹持的钼管靶材可匀速横移并伸入压模机构内，并被夹在该上模本体和下模本体之间。该压模机构包括一机架，机架上方设置有一液压缸，该液压缸的液压杆向下穿过机架的顶面并伸入该机架内部；该液压杆的下端连接着横架在机架内部的限位板；该上模本体固定在该限位板的底面，该下模本体固定在机架的底板上且与该上模本体相对。本案的提高钼管靶材密度的工装结构简单稳固、能有效提高钼管靶材的密度，可大幅度降低生产成本。

技术领域

本实用新型涉及管状靶材制造领域，具体涉及一种提高钼管靶材密度的工装。

背景技术

随着平面显示器行业和光伏行业的迅速发展，作为重要镀膜材料的钼溅射靶材需求越来越大。同时，由于管状靶材利用率远大于平面靶材，因此，钼管靶材成为了高端市场的主要需求，也随之成为了目前研究的热点。但是，高端市场对钼管靶材的品质要求相当严格，要求钼管靶材高密度(密度要求需大于99％)，高纯度，组织均匀性较好。目前高密度钼管靶材的生产基本被国外所垄断，国外生产高密度钼管靶材主要采用热等静压方法制备，生产成本极其昂贵。国内制备钼管靶材主要方法是粉末冶金法，其工艺流程为：原料钼粉--冷等静压成型管状--高温烧结--热处理--机加工处理，该方法制备钼管靶材的相对密度较低，仅为 95％～97％，不仅晶粒粗大(100微米以上)且组织不均匀，很难达到高端市场对高密度钼管靶材的需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的缺点与不足，提供一种提高钼管靶材密度的工装，其在粉末冶金基础上来锻造钼管靶材，本提高钼管靶材密度的工装结构简单稳固、能有效提高钼管靶材的密度，可大幅度降低生产成本。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种提高钼管靶材密度的工装，包括一压模机构和一旋锻机构，该旋锻机构设置在该压模机构一侧，所述压模机构中设置有上下相对的上模本体和下模本体，所述旋锻机构横向夹持的钼管靶材可匀速横移并伸入压模机构内，并被夹在所述上模本体和下模本体之间。具体地，所述压模机构，其包括一机架，机架上方设置有一液压缸，该液压缸的液压杆向下穿过机架的顶面并伸入该机架内部；所述液压杆的下端连接着横架在机架内部的限位板；所述上模本体固定在所述限位板的底面，所述下模本体固定在所述机架的底板上且与所述上模本体相对。

进一步地，所述旋锻机构，其包括一横向设置的马达和一连接在该马达端部的固定夹，该固定夹夹紧钼管靶材的一端，钼管靶材的另一端伸入所述机架。

进一步地，所述上模本体，其底部具有向上凹陷的第一圆弧面；所述下模本体，其顶部具有向下凹陷的第二圆弧面与所述第一圆弧面相对；钼管靶材的伸入所述机架的一端被夹在该第一圆弧面和第二圆弧面之间。

作为优选，所述机架侧壁上设置有限位槽，使得所述液压杆带动的所述限位板可在该限位槽内上下滑动。

作为优选，所述液压杆的下端通过一加强板连接着横架在机架内部的限位板。

作为优选，所述限位板的底面设置有一上模装配口，所述上模本体通过该上模装配口来装配并固定在所述限位板的底面。

进一步地，所述机架的底板上设置有一下模装配口与所述上模装配口上下相对，所述下模本体通过该下模装配口来装配并固定在所述机架的底板上且与所述上模本体相对。

进一步地，所述上模本体和下模本体均为多层复合结构，该多层复合结构由内至外包括有基层、防氧化层及防锈蚀层。

进一步地，所述基层的材料为模具钢。

相对于现有技术，本案的有益效果是：