[实用新型]一种光罩盒

说明书

本实用新型涉及一种光罩盒，包括底盒、上盖和固定夹。该底盒和上盖通过固定夹扣住底盒边缘使之形成闭合的容纳晶圆的容置空间，所述固定夹对称安装于上盖边缘的中间位置，固定夹中部对称有两个沉头孔，两个沉头孔的位置装有限位柱，限位柱上套接复位弹簧，所述上盖内表面对称装有数个缓冲套件，缓冲套件包括缓冲柱、橡胶套和T字型的防滑套，缓冲套件与放于盒内的晶圆上表面接触，橡胶套有一通孔，橡胶套上端部分与缓冲柱固定插接，T字型防滑套插入橡胶套的下端。本实用新型提供的光罩盒具有改良的缓冲套件和固定夹的复位弹簧的限位柱的设置，便于缓冲套件的安装和保证了安装复位弹簧的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及一种光罩盒，特别是指一种改良了缓冲套件配置和固定夹配置的光罩盒。

背景技术

在晶圆的制作过程中，经常需要使用光罩盒将晶圆在不同的处理设备之间转移，以进行不同的制作过程，比如：进料检查、研磨、粘合、切割、分离、清晰、测试等，需要进行多次开合光罩盒来完成对晶圆的取放，就对光罩盒的质量有着较高的要求，目前市场上用于装载晶圆的光罩盒上盖内表面中的与橡胶套相配合的防滑套为工字型的防滑套，由于工字型防滑套嵌入橡胶套一端的外径大于橡胶套通孔内径，使装配的时候造成一定的不便；在操作过程中需要多次开关以取放晶圆，传统光罩盒固定夹的沉头孔中的复位弹簧在安装过程中处于活动状态，导致复位弹簧产生容易脱落的问题，降低盒体的装配效率，而且会使沉头孔中的复位弹簧可能因为多次开合而产生移位现象，从而导致固定夹失效，随时可能突然失效，不但使用不方便，且可能因上盖的晃动使放置于底盒内的晶圆无法处于稳定平衡的状态，而对晶圆造成伤害，如果晶圆在操作过程中没有质量良好的光罩盒保护，则会提高损伤的几率，导致影响晶圆良率，而产生浪费会导致成本提高。

发明内容

本实用新型提供一种光罩盒，以解决现有技术中，工字型防滑套难以装配和固定夹复位弹簧安装过程中处于活动状态，容易脱落的问题。

本实用新型采用如下技术方案：一种光罩盒，包括底盒、上盖和固定夹，该底盒和上盖通过固定夹扣住底盒边缘使之形成闭合的容纳晶圆的容置空间，固定夹与上盖通过一转轴铰接构成，所述固定夹对称安装于上盖边缘的中间位置，固定夹由按压部和勾部成L字型一体连接组成，位于按压部上方的上盖设有两个沉头孔，沉头孔底部装有限位柱，限位柱上套接复位弹簧，复位弹簧的另一端与按压部上表面抵接；所述上盖内表面对称装有数个缓冲套件，缓冲套件包括缓冲柱、橡胶套和T字型的防滑套，缓冲套件与放于盒内的晶圆上表面接触，橡胶套有一通孔，橡胶套上端部分与缓冲柱固定插接，T字型防滑套插入橡胶套的下端。

上述底盒上表面相对两侧均设置有承载件，承载件数量为4个，承载件上盛放晶圆，承载件承载晶圆并限制晶圆竖直方向的位移。

上述底盒上表面两侧侧壁均设置有限位块，限位块数量为4个，限位块限制晶圆水平方向的位移。

上述晶圆放在承载件上，限制晶圆无法沿竖直方向移动，限位块限制晶圆无法与承载件限制方向垂直的方向移动。

上述上盖内表面装的数个缓冲套件在一定程度上减小了外力对晶圆的冲击力，从而有效地防止了晶圆发生破片的现象，提高了运送过程的安全性。

上述限位柱在安装过程中保证复位弹簧的稳定性。

上述防滑套插入端的外径大于橡胶套内径0.1mm-0.5mm。

上述防滑套的插入端端面为球面构造。

由上述对本实用新型结构的描述可知，和现有技术相比，本实用新型具有如下优点：设计合理，本实用新型采用T字型的防滑套，防滑套插入端端面为球面构造，便于安装配合，沉头孔中装有限位柱，保证安装复位弹簧的稳定性，利于光罩盒的装配，进行光罩盒开关操作时降低固定夹损坏的风险，减少不必要的产品损坏，提高光罩盒的安全性。

附图说明

图1为光罩盒主视结构示意图。