[实用新型]晶圆转角度机

说明书

该实用新型涉及一种晶圆转角度机，包括：夹具，连接至转动轴，用于夹持待转角度的晶圆，并跟随转动轴转动；转动轴，连接至旋转电机，用于跟随旋转电机的输出轴转动；旋转电机，用于控制转动轴转动。本实用新型中的晶圆转角度机包括夹具和转动轴，转动轴连接到旋转电机，在旋转电机的控制下进行旋转，并带动夹具夹持的晶圆进行旋转，从而实现晶圆的定位槽的校准，简单方便。更优的，由于夹具具有多个相互平行的夹层，每一夹层对应可夹持一个待转角度的晶圆，因此使用该晶圆转角度机可以同时对多个晶圆转角度，可同时实现多个晶圆的定位槽的校准，因此，使用本实用新型中的晶圆转角度机能够实现高效、高精准度的晶圆定位槽校准。

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产领域，具体涉及一种晶圆转角度机。

背景技术

随着器件的特征尺寸的不断减小，器件的集成度越来越高，对注入工艺中晶圆的注入角度、晶格方向的准确度以及传输的精度提出更高的要求。其中，晶圆传输系统的精确性与稳定性直接影响设备的生产效率，与企业的效益息息相关，因此，一套高效稳定的具有晶圆定位及位置补偿功能的传输系统就至关重要。在晶圆传输系统中，定向装置是不可或缺的重要组成部分，如果提高这部分功能的稳定性与精准度，那么，整个传输系统的稳定性及效率就可大幅度提高。

在半导体领域，需要在晶圆上做一个定位边或者定位槽来表明晶体结构和晶圆的晶向。在对晶圆进行离子注入时，对晶圆的晶向的准确判定是非常重要的，关系到后续的性能及良率。如离子注入需要规避沟道效应。措施之一时沿沟道轴向偏离一定精度。

传统的对晶圆的定位槽(Notch)位置的校准，是采用人工手动校准，效率低下，且精准性不佳，因此亟需引入新的晶圆定位槽校准方法，以实现高效、高精准度的晶圆定位槽校准。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆转角度机，能够实现高效、高精准度的晶圆定位槽校准。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆转角度机，包括：转动轴；旋转电机，连接至所述转动轴，用于控制所述转动轴绕所述转动轴的轴心转动；夹具，安装至所述转动轴，用于夹持待转角度的晶圆，使所述晶圆跟随所述转动轴绕所述转动轴的轴心转动。

可选的，还包括：时间继电器，连接至所述旋转电机，用于控制所述旋转电机控制所述转动轴转动的时长，从而控制所述转动轴的转动角度。

可选的，所述夹具包括多个夹层，相邻两夹层用于夹持一个待转角度的晶圆。

可选的，所有夹层相互平行。

可选的，所述夹层的尺寸与八寸晶圆的尺寸相适应，以夹持八寸晶圆。

可选的，所述转动轴包括设置于所述转动轴表面的定位轴，所述定位轴的长度方向与所述转动轴的轴向平行。

可选的，各个夹层沿所述定位轴的长度方向依次设置。

可选的，所述定位轴突出于所述转动轴表面设置，用于对齐各个安装至所述夹层的待转角度的晶圆的定位槽。

可选的，还包括：旋钮，连接至所述旋转电机，用于控制所述旋转电机控制所述转动轴转动的角度。

可选的，所述旋钮可选的档位包括0°、22°、180°和270°，分别对应于所述旋转电机驱动所述转动轴绕所述轴心旋转0°、22°、180°和270°。

本实用新型中的晶圆转角度机包括夹具和转动轴，所述转动轴连接到旋转电机，在旋转电机的控制下进行旋转，并带动夹具夹持的晶圆进行旋转，从而实现晶圆的定位槽的校准，简单方便。更优的，由于所述夹具具有多个相互平行的夹层，每一夹层对应可夹持一个待转角度的晶圆，因此使用该晶圆转角度机可以同时对多个晶圆转角度，可同时实现多个晶圆的定位槽的校准，因此，使用本实用新型中的晶圆转角度机能够实现高效、高精准度的晶圆定位槽校准。

附图说明