[实用新型]一种便于排杂的多晶硅铸锭炉结构

说明书

本实用新型涉及多晶铸锭炉领域内一种便于排杂的多晶硅铸锭炉结构，包括炉体，所述炉体内设有隔热笼，隔热笼的内部设有热交换平台，所述热交换平台上设置有坩埚，所述隔热笼内周设有加热器，所述隔热笼外周设有石墨保温罩，所述石墨保温罩的顶部开设有若干用于内部结构安装的安装孔，所述石墨保温罩侧向的上部低于坩埚上口边缘的位置设有若干排杂孔，所述排杂孔的最大孔径为3～6cm，所述排杂孔的位置避开隔热笼的笼骨部位并与石墨保温罩外侧的炉体内腔连通。本实用新型的便于排杂的多晶硅铸锭炉结构，通过排杂孔及时的将融化及长晶时产生的杂质排出熔融液表面，从而有效的减少提纯锭头部杂质的堆积，减少顶部红外阴影面积，提高少子寿命。

技术领域

本实用新型涉及多晶铸锭炉领域，特别涉及一种便于排杂的多晶硅铸锭炉结构。

背景技术

现有技术中，多晶硅铸锭炉进行提纯料铸锭时，由于提纯料内部杂质相比高纯铸锭料中杂质明显较多，提纯料在多晶铸锭炉的坩埚内经加热、融化、长晶退火和冷却。此过程中，当硅料达到熔点开始融化，完全融化硅液中的杂质主要沉淀在坩埚底部或漂浮于液面，对于底部的沉淀料冷却后直接切割掉，坩埚处理相对封闭的隔热保温罩内，如果液面的漂浮不能及时的排走，将导致硅液表面杂质较多， 最终冷却后的提纯铸锭头部的杂质多需要切割的不合格边皮段过长，最终导致提纯锭的合格品率低。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中通过多晶硅铸锭炉进行提纯料铸锭时，提纯锭料头部杂质多，边皮段过长的问题，提供一种便于排杂的多晶硅铸锭炉结构，使提纯料融化后液面的漂浮杂质及时排出坩埚外，减少提纯锭头部杂质的堆积，提高提纯锭的合格品率。

本实用新型的目是这样实现的，一种便于排杂的多晶硅铸锭炉结构，包括炉体，所述炉体内设有隔热笼，隔热笼的内部设有热交换平台，所述热交换平台上设置有坩埚，所述隔热笼内周设有加热器，所述隔热笼外周设有石墨保温罩，所述石墨保温罩的顶部开设有若干用于内部结构安装的安装孔，其特征在于，所述石墨保温罩侧向的上部低于坩埚上口边缘的位置设有若干排杂孔，所述排杂孔的最大孔径为3～6cm，所述排杂孔的位置避开隔热笼的笼骨部位并与石墨保温罩外侧的炉体内腔连通。

本实用新型的多晶硅铸锭炉结构，在石墨保温罩的上半部设置若干排杂孔，增加隔热笼内外部的流通性，当硅料融化过程中表面漂浮杂质会在较大的气体流通状态下带离硅液表面，被带离杂质一部分会经过炉腔内换气排出铸锭炉，另一部分会粘附在炉腔壁上，此处只要出炉后清理炉腔壁即可清除。因此，本实用新型的便于排杂的多晶硅铸锭炉结构，通过排杂孔的设置，能够及时的将融化及长晶时产生的杂质排出熔融液表面，并通过排杂孔排走抽出炉外或吸附于炉腔内壁，从而有效的减少提纯锭头部杂质的堆积，减少顶部红外阴影面积，提高少子寿命。

进一步地，所述石墨保温罩包括顶板、底板和四周围合设置的石墨侧板，每侧的石墨侧板上至少布置有一个排杂孔。

优选的，所述排杂孔为圆孔、多边形孔或椭圆孔。

附图说明

图1为本实用新型的便于排杂的多晶硅铸锭炉结构示意图。

图2为石墨保温罩的结构示意图。

其中，1，炉体；2隔热笼；3石墨保温罩；4排杂孔；5坩埚；6热交换平台。

具体实施方式

如图1和图2所示为本实用新型的便于排杂的多晶硅铸锭炉，包括炉体1，炉体1内设有隔热笼2，隔热笼2的内部设有热交换平台6，热交换平台6上设置有坩埚5，隔热笼2内周设有加热器，隔热笼2外周设有石墨保温罩3，该石墨保温罩3包括顶板、底板和四周围合设置的石墨侧板，石墨保温罩3的顶板开设有若干用于内部结构安装的安装孔，石墨保温罩3的每块石墨侧板的上部低于坩埚5上口边缘的位置至少设有一个排杂孔4，排杂孔4的形状可以为圆孔、多边形孔或椭圆孔，每个孔的最大孔径为3～6cm，布置排杂孔4的位置时需避开隔热笼2的笼骨部位并与石墨保温罩外侧的炉体内腔连通。

本实用新型的多晶硅铸锭炉结构，在石墨保温罩3的上半部设置排杂孔4，使原本隔离在隔热笼2内的坩埚通过排杂孔与外侧的炉腔空间连通，增加隔热笼2内外部的流通性，使硅料融化过程中表面漂浮的杂质会在炉内保护流的作用下带离硅液表面，被带离液面的杂质一部分会经过炉腔内换气排出铸锭炉，另一部分会粘附在炉腔壁上，此处只要出炉后清理炉腔壁即可清除。因此，本实用新型的便于排杂的多晶硅铸锭炉结构，通过排杂孔的设置，能够及时的将融化及长晶时产生的杂质排出熔融液表面，并通过排杂孔排走抽出炉外或吸附于炉腔内壁，从而有效的减少提纯锭头部杂质的堆积，减少顶部红外阴影面积，提高少子寿命。