[实用新型]一种钛钨蚀刻用清洗装置

权利要求书

1.一种钛钨蚀刻用清洗装置，包括装置外壳(1)，其特征在于：所述装置外壳(1)上设有清洗装置(2)，所述清洗装置(2)包括设置在所述装置外壳(1)右侧面上的储水箱(20)，所述储水箱(20)内设有储水空腔(21)，所述储水箱(20)的前侧面上紧密焊接有呈水平状分布的固定板(22)，所述储水箱(20)上还设有与所述储水空腔(21)相连通的出水管(23)，所述储水箱(20)上还设有水泵(24)，所述水泵(24)的进水端设有进水管(241)，所述水泵(24)的出水端设有固定钢管(25)，所述固定钢管(25)的水平段管体紧密焊接在所述储水箱(20)的顶面，所述固定钢管(25)的水平段管体上设有若干个呈线性等间距排列的喷头(26)，所述喷头(26)位于所述储水空腔(21)的上方；

所述固定板(22)上还设有固定夹持机构(3)，所述固定夹持机构(3)包括驱动电机(30)，所述驱动电机(30)上设有固定底座(31)，所述固定底座(31)与所述固定板(22)之间通过若干个紧固螺栓固定连接，所述驱动电机(30)的输出轴末端穿过所述储水空腔(21)的腔壁并紧密焊接有弯曲杆(32)，所述弯曲杆(32)的水平段杆体上紧密焊接有两个相互对称的固定柱(33)，所述固定柱(33)穿过所述弯曲杆(32)，所述弯曲杆(32)内开设有与外界相连通的螺纹孔(331)，所述弯曲杆(32)上还设有第一夹板(34)，所述第一夹板(34)上设有第二夹板(35)，所述第一夹板(34)以及所述第二夹板(35)内均开设有与外界相连通的导向孔(36)，所述导向孔(36)内设有螺杆(37)，所述螺杆(37)穿过与之对应的所述螺纹孔(331)并与所述螺纹孔(331)之间螺纹连接，所述螺杆(37)上还紧密焊接有两个相互对称的限位盘(38)，所述第一夹板(34)以及所述第二夹板(35)均位于与之对应的两个所述限位盘(38)之间，所述螺杆(37)的末端紧密焊接有转盘(39)。

2.根据权利要求1所述的钛钨蚀刻用清洗装置，其特征在于：所述转盘(39)上开设有若干个呈环状等间距排列的弧形槽(391)。

3.根据权利要求1所述的钛钨蚀刻用清洗装置，其特征在于：所述第一夹板(34)以及所述第二夹板(35)的长度之和小于所述弯曲杆(32)的水平段杆体的长度。

4.根据权利要求1所述的钛钨蚀刻用清洗装置，其特征在于：所述限位盘(38)的截面圆的直径大于所述导向孔(36)的孔径。

5.根据权利要求1所述的钛钨蚀刻用清洗装置，其特征在于：所述螺杆(37)的长度小于所述储水空腔(21)的深度。

6.根据权利要求1所述的钛钨蚀刻用清洗装置，其特征在于：所述弯曲杆(32)的水平段杆体上还设有若干个呈线性等间距排列的第一卡齿(4)，所述第一卡齿(4)位于两个所述固定柱(33)之间。

7.根据权利要求6所述的钛钨蚀刻用清洗装置，其特征在于：所述第一夹板(34)与所述第二夹板(35)之间通过铰链(5)铰接，所述第一夹板(34)以及所述第二夹板(35)上正对所述第一卡齿(4)的位置设有第二卡齿(6)。