[实用新型]一种小型可移动式等离子体表面改性设备

权利要求书

1.一种小型可移动式等离子体表面改性设备，其特征在于，所述设备包括壳体，所述壳体内右上方固定安装有真空反应装置，所述壳体的内部左上方固定安装偏压电源，所述壳体内底部中间位置固定有气瓶，所述气瓶的后方设置有真空泵，所述真空泵与真空反应装置的出气口连接；

所述真空反应装置的顶部设置有密封盖板，在密封盖板内侧面的中间位置安装有辅助阳极，所述辅助阳极与密封盖板之间设置有绝缘层；所述真空反应装置内侧顶部密封盖板的下方设置有匀气环；所述真空反应装置内底部中间位置固定设置有基片台，在基片台上设置有绝缘胶垫，所述绝缘胶垫上设置有电极；所述真空反应装置的外侧底部分别设置有进气口、出气口和电极法兰；所述电极通过电极连接线与真空反应装置下部的电极法兰连接，然后与偏压电源的负极连接，所述偏压电源的正极与辅助阳极连接。

2.根据权利要求1所述的一种小型可移动式等离子体表面改性设备，其特征在于，所述进气口设置在真空反应装置的底部边缘位置，进气口的上端与设置在真空反应装置内侧壁上纵向设置的通气管连接，所述通气管的上端与匀气环连接。

3.根据权利要求1所述的一种小型可移动式等离子体表面改性设备，其特征在于，所述壳体底部四个角的位置分别设置有一个滚轮，所述滚轮为万向轮。

4.根据权利要求1所述的一种小型可移动式等离子体表面改性设备，其特征在于，所述气瓶依次通过流量计、混气室、进气截止阀与进气口连接。

5.根据权利要求1所述的一种小型可移动式等离子体表面改性设备，其特征在于，所述真空泵包括机械泵和分子泵，所述机械泵位于分子泵的下方，所述机械泵的进气口与分子泵的出气口连接，所述分子泵的进气口与真空反应装置的出气口连接。

6.根据权利要求1所述的一种小型可移动式等离子体表面改性设备，其特征在于，所述电极为鼠笼式电极或平板式电极，所述平板式电极设置在绝缘胶垫的上方，所述平板式电极的直径小于绝缘胶垫的直径，在绝缘胶垫的外围放置鼠笼式电极，所述鼠笼式电极与平板式电极之间相互绝缘；所述平板式电极与鼠笼式电极并联，两电极与偏压电源之间设置有位置开关，可以通过位置开关的切换实现两种电极同时放电或分别放电。

7.根据权利要求1所述的一种小型可移动式等离子体表面改性设备，其特征在于，所述真空反应装置的外侧底部通过法兰连接一真空计，用于测量真空反应装置内的压力。

8.根据权利要求1所述的一种小型可移动式等离子体表面改性设备，其特征在于，所述真空反应装置的外侧壁上设置有观察窗，用于观察真空反应装置内的反应情况。

9.根据权利要求1所述的一种小型可移动式等离子体表面改性设备，其特征在于，所述偏压电源可以是直流偏压、射频偏压、脉冲偏压。

10.根据权利要求1所述的一种小型可移动式等离子体表面改性设备，其特征在于，所述真空反应装置的进气和出气过程均由控制器控制，所述控制器固定在壳体内左上方、偏压电源的下方。