[实用新型]一种LCD生产用曝光机有效

专利信息
申请号: 201920824291.4 申请日: 2019-06-03
公开(公告)号: CN209842329U 公开(公告)日: 2019-12-24
发明(设计)人: 马腾云 申请(专利权)人: 南京骏腾电子有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20;G02F1/13
代理公司: 11740 北京棘龙知识产权代理有限公司 代理人: 谢静
地址: 210000 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
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【说明书】:

实用新型公开了一种LCD生产用曝光机,涉及曝光机装置领域,针对现有曝光机生产尺寸较小,不方便上下料的问题,现提出如下方案,其包括机箱、曝光灯、光敏传感器,所述机箱的左右侧壁开设有第一滑槽,所述第一滑槽内设置有第一滑板,所述第一滑板的上方固定连接有横板,所述横板的下表面的前后两端固定连接有竖板,所述竖板的互相靠近的一个面开设有第二滑槽,且两个竖板之间设置有第二滑板,所述第二滑板的前后两端固定连接有滑块,所述第二滑板上表面与横板下表面的前后两侧均固定连接有一个弹簧筒,所述弹簧筒内设置有弹簧。本实用新型曝光机具有方便调节,可以曝光不同尺寸产品的特点,且可以方便全自动的进行上下料。

技术领域

本实用新型涉及曝光机装置领域,尤其涉及一种LCD生产用曝光机。

背景技术

曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备,70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业,是在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,它常用于半导体制造,光电电子,平板,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。现有的曝光机曝光的尺寸较小,不适用于大尺寸的基板曝光,若将现有的曝光机对大尺寸的基板进行曝光,其曝光的效果极差,基板的曝光面曝光不均匀,特别是基板边缘地带的曝光效果极差,且现有的曝光机的上下料非常的不方便,因此提出一种LCD生产用曝光机。

实用新型内容

本实用新型提出的一种LCD生产用曝光机,解决了现有曝光机生产尺寸较小,不方便上下料的问题。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种LCD生产用曝光机,包括机箱、曝光灯、光敏传感器,所述机箱的左右侧壁开设有第一滑槽,所述第一滑槽内设置有第一滑板,所述第一滑板的上方固定连接有横板,所述横板的下表面的前后两端固定连接有竖板,所述竖板的互相靠近的一个面开设有第二滑槽,且两个竖板之间设置有第二滑板,所述第二滑板的前后两端固定连接有滑块,所述第二滑板上表面与横板下表面的前后两侧均固定连接有一个弹簧筒,所述弹簧筒内设置有弹簧,两个所述第一滑板的互相远离的一个面固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的外表面套接有螺纹筒。

优选的,所述机箱的后端设置有两个液压装置,其中一个液压装置竖直设置在物料板的下表面,另一个水平设置,且其左侧端的顶杆末端固定连接有推块。

优选的,多个所述弹簧筒中,上方的弹簧筒的直接均大于下方的弹簧筒的直径,且上方弹簧筒套接在下方弹簧筒的外表面。

优选的,所述弹簧的两端分别固定连接在上下方两个弹簧筒的上下内壁。

优选的,所述螺纹筒通过轴承活动连接在机箱的左右侧壁上。

优选的,所述滑块滑动连接在第二滑槽内。

本实用新型中的有益效果是:通过把现有的曝光机的机箱内设置第一滑槽,第一滑槽内设有第一滑板,第一滑板上设置有横板和竖板,竖板上开设有第二滑槽,且两个竖板之间设置有第二滑板,第二滑板的两端固定连接有滑块,滑块滑动连接在第二滑槽内,且第二滑板的上表面与横板的下表面均固定连接有弹簧筒买两个弹簧筒之间固定连接有弹簧,使得在弹簧的作用下可以对第二滑板下方的产品进行夹持,且两个第一滑板的互相远离的的一个面固定连接有螺纹杆,螺纹杆外表面套接有螺纹筒,螺纹筒通过轴承活动连接在机箱的侧壁,使得在螺纹筒与螺纹杆的配合连接在可以调节两个第二滑板之间的军力,用以夹持不同尺寸的产品,且机箱的后端设置有两个液压装置,其中一个液压装置为竖直放置,另一个为水平放置,竖直放置的液压装置设置在承接产品的物料板的下表面,水平放置的液压装置的左侧顶杆的末端固定连接有推块,推块可以将物料板上的产品推送到机箱内,使得本装置具有方便调节,可以曝光不同尺寸产品的特点,且可以方便全自动的进行上下料。

附图说明

图1为本实用新型的一种LCD生产用曝光机的结构的剖视图。

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