[实用新型]一种光学层析成像扫描装置

权利要求书

1.一种光学层析成像扫描装置，其特征在于：包括安装外壳（3），安装于所述安装外壳（3）上的光纤接头（1）、固定抛物面聚焦镜（2）、Y方向旋转抛物面聚焦镜（4）、Y方向振动轴（5）和Y方向磁控线圈（6）；所述光纤接头（1）输出的发散光经过所述固定抛物面聚焦镜（2）会聚成平行光束，所述固定抛物面聚焦镜（2）与所述Y方向旋转抛物面聚焦镜（4）的光轴保持在同一直线上；所述Y方向磁控线圈（6）驱动Y方向振动轴（5），进而通过带动Y方向旋转抛物面聚焦镜（4）在被扫描物体（7）上聚焦成光斑，并实现一个方向扫描。

2.根据权利要求1所述的光学层析成像扫描装置，其特征在于：光学层析成像扫描装置还包括安装在安装外壳（3）上的X方向平面反射镜（8）、X方向振动轴（9）和X方向磁控线圈（10）；所述Y方向旋转抛物面聚焦镜（4）聚焦的会聚光束再经过所述X方向平面反射镜（8），所述X方向磁控线圈（10）驱动X方向振动轴（9）带动所述X方向平面反射镜（8）在被扫描物体（7）上另一个方向扫描。

3.根据权利要求2所述的光学层析成像扫描装置，其特征在于：所述Y方向振动轴（5）与所述述Y方向磁控线圈（6）设有间隙；所述X方向振动轴（9）与所述X方向磁控线圈（10）设有间隙。

4.根据权利要求3所述的光学层析成像扫描装置，其特征在于：所述Y方向振动轴（5）设置于所述Y方向磁控线圈（6）的扭矩平衡中间位置；所述X方向振动轴（9）设置于所述X方向磁控线圈（10）的扭矩平衡的中间位置。

5.根据权利要求4所述的光学层析成像扫描装置，其特征在于：所述Y方向振动轴（5）和X方向振动轴（9）为正交。

6.根据权利要求5所述的光学层析成像扫描装置，其特征在于：所述X方向振动轴（9）和所述Y方向振动轴（5）的轴截面为非对称。

7.根据权利要求1-4任意一项所述的光学层析成像扫描装置，其特征在于：所述磁控线圈包括磁芯（21）、磁控线圈和可控电流源；所述磁芯（21）的四个磁极均绕两个磁控线圈，所述磁控线圈分为两组由各自的可控电流源驱动。

8.根据权利要求7所述的光学层析成像扫描装置，其特征在于：所述磁控线圈包括两组第一磁控线圈（22）和第二磁控线圈（23）；所述可控电流源包括驱动所述第一磁控线圈（22）的第一可控电流源（24）和驱动所述第二磁控线圈（23）的第二可控电流源（25）。