[实用新型]一种用于半导体工业废水一体化处理系统

权利要求书

1.一种用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：

包括废水收集池，MBR膜处理单元、活性炭过滤单元、MF处理单元，所述废水收集池通过管道依次与MBR膜处理单元、活性炭过滤单元、MF处理单元连接，储水池；

所述MBR膜处理单元包括pH调节池、厌氧池、缺氧池、好氧池、MBR一体化装置，MBR产水池，所述pH调节池、厌氧池、缺氧池、好氧池、MBR一体化装置，MBR产水池依次通过管道连接，所述MBR一体化装置设有MBR膜组件、生物反应器、鼓风机，所述MBR膜组件设置在生物反应器内部；

所述活性炭过滤单元包括活性炭过滤器，所述活性炭过滤器为内装填粗石英砂垫层及活性炭的压力容器，

所述MF处理单元包括滤芯，所述滤芯包括微滤膜、内外导流层、滤芯端盖、壳体及中心杆。

2.如权利要求1所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述MBR一体化装置包括活性污泥系统、所述活性污泥系统设置在MBR膜组件之前，所述废水经过好氧池通过管道进入活性污泥系统。

3.如权利要求2所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述MBR储水池与MBR产水池之间设有抽吸泵。

4.如权利要求3所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述MBR膜组件孔径为0.01μm-0.03μm。

5.如权利要求4所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述MBR膜处理单元还包括污泥回流系统和反洗泵，所述污泥回流系统设置在MBR一体化装置内，所述反洗泵设置在污泥回流系统内。

6.如权利要求1所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述活性炭过滤器的外壳为不锈钢或者玻璃钢。

7.如权利要求1所述的用于半导体工业废水一体化处理系统，其特征在于：所述MF处理单元的微滤膜为有机高分子膜。